Öňki makalada biz püskürtme örtükleriniň häsiýetleri barada gürrüň etdik we bu makala püskürtme örtükleriniň häsiýetlerini düşündirmegi dowam eder.
(4) Substratyň temperaturasy pes. Katod nyşanasynyň magnit meýdan sebitinde, ýagny nyşana boşaltma zolagyndaky kiçi bir ýerli sebitde we magnit täsir sebitiniň daşynda, esasanam magnit meýdanyndan uzakda ýerleşýän substratyň ýüzüne golaý ýerde elektronlaryň konsentrasiýasy ýokary bolandygy sebäpli, elektronlaryň konsentrasiýasy tapawutlanma sebäpli has pes we hatda ikilik püskürmeden hem pes bolup biler (sebäbi ikisiniň iş gaz basyşy bir derejede tapawutlanýar). Şonuň üçin, püskürme şertlerinde, bombardman edilen substratyň ýüzündäki elektronlaryň konsentrasiýasy adaty ikinjilik püskürmeden has pes we düşýän substratdaky elektronlaryň sanynyň azalmagy sebäpli substratyň temperaturasynyň aşa ýokarlanmagynyň öňüni almak mümkin. Mundan başga-da, püskürtme usulynda püskürtme enjamynyň anody katodyň töwereginde ýerleşip bilner we substrat çarçuwasy hem asma potensialda bolup biler, şonuň üçin elektronlar topraklanan substrat çarçuwasyndan geçmezden anoddan akyp geçip bilerler, şeýdip örtülen substraty bombalaýan ýokary energiýaly elektronlary azaldýarlar, elektron düşmegi sebäpli substratyň ýylylygynyň artmagyny azaldýarlar we substratyň ikinji derejeli elektron bombardmanyndan dörän ýylylygy ep-esli azaldýarlar.
(5) Nyşanyň deň däl aşynmagy. Adaty püskürtme nyşanynda deň däl magnit meýdany ulanylýar, şonuň üçin plazma ýerli konwergensiýa täsirini döreder, bu bolsa nyşanadaky ýerli ýerleşýän ýeriň püskürtme aşynma tizligini örän ýokary eder we netijede nyşana uly deň däl aşynma bolar. Nyşana materiallaryň ulanylyş derejesi, adatça, takmynan 30% -e deňdir. Nyşana materialyň ulanylyş derejesini ýokarlandyrmak üçin dürli gowulandyryş çärelerini görmek bolýar, mysal üçin, magnit nyşana katodynyň içinde hereket eder ýaly, nyşana magnit meýdanynyň görnüşini we paýlanyşyny gowulandyrmak.
(6) Magnit material nyşanasyny püskürtmek kyn. Püskürtmek nyşana ýokary magnit geçirijiligi bolan materialdan ýasalsa, magnit meýdan çyzyklary gönüden-göni geçer we ş.m. Nyşanyň içinde magnit gysga zynjyry ýüze çykýar, bu bolsa boşalmagy kynlaşdyrýar. Giňişlik magnit meýdanyny döretmek üçin dürli barlaglar geçirildi, mysal üçin, nyşanyň içinde magnit meýdanyny doýurmak, nyşana köp boşluk galdyrmak, nyşananyň temperaturasyny ýokarlandyrmak ýa-da nyşananyň magnit geçirijiligini azaltmak üçin has köp syzma magnitligini döretmek.
– Bu makala tarapyndan çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 8-nji sentýabry