У попередній статті ми говорили про характеристики напилюваних покриттів, і в цій статті ми продовжимо пояснювати характеристики напилюваних покриттів.
(4) Температура підкладки низька. Швидкість розпилення висока, оскільки концентрація електронів висока в області магнітного поля катодної мішені, тобто в невеликій локальній області на розрядній смугі мішені, а поза областю магнітної дії, особливо поблизу поверхні підкладки, далеко від магнітного поля, концентрація електронів значно нижча через розбіжність і може бути навіть нижчою, ніж при бінарному розпиленні (оскільки робочий тиск газу в цих двох процесах відрізняється на порядок). Таким чином, в умовах розпилення концентрація електронів на поверхні бомбардованої підкладки значно нижча, ніж при звичайному вторинному розпиленні, і надмірного підвищення температури підкладки уникають завдяки зменшенню кількості електронів у падаючій підкладці. Крім того, в методі розпилення анод розпилювального пристрою може бути розташований навколо катода, а каркас підкладки також може бути під підвішеним потенціалом, так що електрони можуть протікати через анод, не проходячи через заземлений каркас підкладки, тим самим зменшуючи кількість високоенергетичних електронів, які бомбардують покриту підкладку, зменшуючи збільшення тепла підкладки, спричинене падінням електронів, та значно зменшуючи тепло, спричинене вторинним електронним бомбардуванням підкладки.
(5) Нерівномірне травлення мішені. У традиційній напилювальній мішені використовується неоднорідне магнітне поле, тому плазма створює ефект локальної конвергенції, що робить швидкість травлення напиленням локального положення на мішені надзвичайно високою, і результатом буде значне нерівномірне травлення на мішені. Коефіцієнт використання матеріалів мішені зазвичай становить близько 30%. Для підвищення коефіцієнта використання матеріалу мішені можна вжити різних заходів щодо покращення, таких як покращення форми та розподілу магнітного поля мішені, щоб магніт рухався всередині катода мішені.
(6) Розпилення мішені з магнітного матеріалу є складним. Якщо мішень для розпилення виготовлена з матеріалу з високою магнітною проникністю, лінії магнітного поля будуть проходити безпосередньо одна через одну тощо. Всередині мішені виникає магнітне коротке замикання, що ускладнює розряд. Для створення просторового магнітного поля було проведено різні дослідження, наприклад, насичення магнітного поля всередині мішені, залишення багатьох проміжків на мішені, щоб сприяти генерації більшого магнетизму розсіювання для підвищення температури мішені або зменшення магнітної проникності мішені.
– Цю статтю опубліковановиробник вакуумних машин для покриттяГуандун Чженьхуа
Час публікації: 08 вересня 2023 р.