Ing artikel sadurunge, kita wis ngrembug babagan ciri-ciri lapisan sputtering, lan artikel iki bakal terus nerangake ciri-ciri lapisan sputtering.
(4) Suhu substrat kurang. Laju sputtering sputtering dhuwur amarga konsentrasi elektron dhuwur ing wilayah medan magnet target katoda, yaiku, ing area lokal cilik ing landasan pacu debit target, lan ing njaba wilayah aksi magnetik, utamane cedhak permukaan substrat sing adoh saka medan magnet, konsentrasi elektron luwih murah amarga divergensi, lan malah bisa uga luwih murah tinimbang sputtering binar (amarga tekanan gas operasi loro-lorone beda banget). Mulane, ing kahanan sputtering, konsentrasi elektron ing permukaan substrat sing dibombardir luwih murah tinimbang sputtering sekunder biasa, lan kenaikan suhu substrat sing berlebihan bisa dihindari amarga penurunan jumlah elektron ing substrat sing mlebu. Kajaba iku, ing metode sputtering, anoda piranti sputtering bisa diselehake ing sekitar katoda, lan pigura substrat uga bisa ana ing potensial sing digantung, saengga elektron bisa mili liwat anoda tanpa ngliwati pigura substrat sing di-ground, saengga bisa nyuda elektron energi dhuwur sing mbombardir substrat sing dilapisi, nyuda kenaikan panas substrat sing disebabake dening insidensi elektron, lan nyuda panas sing disebabake dening pemboman elektron sekunder substrat.
(5) Ukiran target sing ora rata. Ing target sputtering tradisional, medan magnet sing ora homogen digunakake, saengga plasma bakal ngasilake efek konvergensi lokal, sing bakal nggawe tingkat etsa sputtering saka posisi lokal ing target dadi gedhe banget, lan asil kasebut bakal dadi etsa sing ora rata sing signifikan ing target. Tingkat pemanfaatan bahan target umume udakara 30%. Kanggo nambah tingkat pemanfaatan bahan target, macem-macem langkah perbaikan bisa ditindakake, kayata ningkatake bentuk lan distribusi medan magnet target, supaya magnet obah ing njero katoda target.
(6) Sputtering target bahan magnetik iku angel. Yen target sputtering digawe saka bahan kanthi permeabilitas magnetik sing dhuwur, garis medan magnet bakal langsung liwat lan sapanunggalane. Ana korsleting magnetik ing njero target, saengga angel discharge. Kanggo ngasilake medan magnet spasial, macem-macem panliten wis ditindakake, contone, ngendapke medan magnet ing njero target, ninggalake akeh celah ing target kanggo ningkatake supaya ngasilake luwih akeh magnet bocor kanggo nambah suhu target, utawa nyuda permeabilitas magnetik target.
- Artikel iki diterbitake deningprodusen mesin lapisan vakumGuangdong Zhenhua
Wektu kiriman: 08-Sep-2023