Өмнөх нийтлэлд бид шүршигч бүрхүүлийн шинж чанаруудын талаар ярилцсан бөгөөд энэ нийтлэлд шүршигч бүрхүүлийн шинж чанаруудыг үргэлжлүүлэн тайлбарлах болно.
(4) Субстратын температур бага байна. Катодын байны соронзон орны бүсэд, өөрөөр хэлбэл байны гадагшлуулах зурвасын жижиг орон нутгийн хэсэгт, мөн соронзон үйлчлэлийн бүсээс гадна, ялангуяа соронзон оронгоос хол байгаа субстратын гадаргуугийн ойролцоо электронуудын концентраци өндөр байдаг тул цацалтын хурд өндөр байдаг. Дивергенцийн улмаас электронуудын концентраци хамаагүй бага байдаг бөгөөд бүр хоёртын цацалтынхаас ч бага байж болно (учир нь хоёрын ажиллах хийн даралт нь хэд хэдэн градусын зөрүүтэй байдаг). Тиймээс цацалтын нөхцөлд бөмбөгдөлтөд өртсөн субстратын гадаргуу дээрх электронуудын концентраци нь ердийн хоёрдогч цацалтынхаас хамаагүй бага байдаг бөгөөд туссан субстрат дахь электронуудын тоо буурснаас болж субстратын температурын хэт их өсөлтөөс зайлсхийдэг. Үүнээс гадна, цацалтын аргаар цацалтын төхөөрөмжийн анодыг катодын эргэн тойронд байрлуулж болох бөгөөд суурь хүрээ нь мөн түдгэлзүүлсэн потенциалтай байж болох бөгөөд ингэснээр электронууд газардуулсан суурь хүрээгээр дамжин өнгөрөхгүйгээр анодоор урсаж, улмаар бүрсэн суурь хэсгийг бөмбөгддөг өндөр энергийн электронуудыг бууруулж, электрон уналтаас үүдэлтэй суурь дулааны өсөлтийг бууруулж, суурь хэсгийг хоёрдогч электрон бөмбөгдөлтөнөөс үүдэлтэй дулааныг эрс бууруулдаг.
(5) Байг жигд бус сийлбэрлэх. Уламжлалт шүрших байнд нэгэн төрлийн бус соронзон орон ашигладаг тул плазм нь орон нутгийн нэгдлийн нөлөөг бий болгодог бөгөөд энэ нь бай дээрх орон нутгийн байрлалын шүрших сийлбэрийн хурдыг маш өндөр болгож, үр дүнд нь бай дээр мэдэгдэхүйц жигд бус сийлбэр үүсэх болно. Бай материалын ашиглалтын түвшин ерөнхийдөө 30% орчим байдаг. Бай материалын ашиглалтын түвшинг сайжруулахын тулд янз бүрийн сайжруулалтын арга хэмжээ авч болно, жишээлбэл, бай соронзон орны хэлбэр, тархалтыг сайжруулж, соронз нь бай катодын дотор хөдөлдөг.
(6) Соронзон материалын байг шүрших нь хэцүү. Хэрэв шүрших байг өндөр соронзон нэвчилттэй материалаар хийсэн бол соронзон орны шугамууд шууд өнгөрөх гэх мэт. Байны дотор соронзон богино холболт үүсч, цэнэг алдалтыг хүндрүүлдэг. Орон зайн соронзон орон үүсгэхийн тулд янз бүрийн судалгаа хийсэн, жишээлбэл, байны доторх соронзон оронг ханаж, байн дээр олон зай үлдээж, байны температурыг нэмэгдүүлэх эсвэл байн соронзон нэвчилтийг бууруулахын тулд илүү их алдагдал соронзон байдлыг бий болгоход түлхэц болсон.
– Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 9-р сарын 8