Yn yr erthygl flaenorol, fe wnaethom siarad am nodweddion haenau chwistrellu, a bydd yr erthygl hon yn parhau i esbonio nodweddion haenau chwistrellu.
(4) Mae tymheredd y swbstrad yn isel. Mae cyfradd chwistrellu chwistrellu yn uchel oherwydd bod crynodiad yr electronau yn uchel o fewn rhanbarth maes magnetig targed y catod, hynny yw, mewn ardal leol fach ar redfa rhyddhau'r targed, a thu allan i'r rhanbarth gweithredu magnetig, yn enwedig ger wyneb y swbstrad ymhell o'r maes magnetig, mae crynodiad yr electronau yn llawer is oherwydd gwahaniaeth, a gall hyd yn oed fod yn is na chrynodiad chwistrellu deuaidd (oherwydd bod pwysedd nwy gweithredu'r ddau yn urdd maint wahanol). Felly, o dan amodau chwistrellu, mae crynodiad yr electronau ar wyneb y swbstrad wedi'i fomio yn llawer is na chrynodiad chwistrellu eilaidd cyffredin, ac mae'r cynnydd gormodol yn nhymheredd y swbstrad yn cael ei osgoi oherwydd y gostyngiad yn nifer yr electronau yn y swbstrad digwyddiadol. Yn ogystal, yn y dull chwistrellu, gellir lleoli anod y ddyfais chwistrellu o amgylch y catod, a gall ffrâm y swbstrad hefyd fod ar botensial ataliedig, fel y gall electronau lifo i ffwrdd trwy'r anod heb basio trwy ffrâm y swbstrad wedi'i seilio, a thrwy hynny leihau'r electronau egni uchel sy'n bomio'r swbstrad platiog, gan leihau'r cynnydd mewn gwres swbstrad a achosir gan ddigwyddiad electronau, a lleihau'r gwres a achosir gan fomio electronau eilaidd y swbstrad yn fawr.
(5) Ysgythru anwastad y targed. Yn y targed chwistrellu traddodiadol, defnyddir maes magnetig anghymesur, felly bydd y plasma yn cynhyrchu effaith cydgyfeirio leol, a fydd yn gwneud cyfradd ysgythru chwistrellu'r safle lleol ar y targed yn eithriadol o fawr, a'r canlyniad fydd ysgythru anwastad sylweddol ar y targed. Mae cyfradd defnyddio deunyddiau targed yn gyffredinol tua 30%. Er mwyn gwella cyfradd defnyddio'r deunydd targed, gellir cymryd amrywiol fesurau gwella, megis gwella siâp a dosbarthiad y maes magnetig targed, fel bod y magnet yn symud y tu mewn i'r catod targed.
(6) Mae chwistrellu targed deunydd magnetig yn anodd. Os yw'r targed chwistrellu wedi'i wneud o ddeunydd â athreiddedd magnetig uchel, bydd llinellau maes magnetig yn mynd heibio'n uniongyrchol ac yn y blaen. Mae cylched fer magnetig yn digwydd y tu mewn i'r targed, gan wneud rhyddhau'n anodd. Er mwyn cynhyrchu maes magnetig gofodol, mae amryw o astudiaethau wedi'u cynnal, er enghraifft, dirlawn y maes magnetig y tu mewn i'r targed, gan adael llawer o fylchau ar y targed i'w hyrwyddo i gynhyrchu mwy o fagnetedd gollyngiad i gynyddu tymheredd y targed, neu leihau athreiddedd magnetig y targed.
– Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: Medi-08-2023