У претходном чланку смо говорили о карактеристикама распршиваних премаза, а овај чланак ће наставити да објашњава карактеристике распршиваних премаза.
(4) Температура подлоге је ниска. Брзина распршивања је висока јер је концентрација електрона висока унутар области магнетног поља катодне мете, односно у малој локалној области на стази за пражњење мете, а ван области магнетног дејства, посебно близу површине подлоге далеко од магнетног поља, концентрација електрона је много нижа због дивергенције и може бити чак нижа него код бинарног распршивања (јер је радни притисак гаса ова два за ред величине различит). Стога, под условима распршивања, концентрација електрона на површини бомбардоване подлоге је много нижа него код обичног секундарног распршивања, а прекомерно повећање температуре подлоге се избегава због смањења броја електрона у упадном супстрату. Поред тога, код методе распршивања, анода уређаја за распршивање може бити постављена око катоде, а оквир подлоге такође може бити под суспендованим потенцијалом, тако да електрони могу да прођу кроз аноду без проласка кроз уземљени оквир подлоге, чиме се смањују електрони високе енергије који бомбардују позлаћену подлогу, смањујући повећање топлоте подлоге узроковано упадањем електрона и значајно смањујући топлоту узроковану секундарним бомбардовањем подлоге електронима.
(5) Неравномерно нагризање мете. Код традиционалне распршивачке мете користи се нехомогено магнетно поље, тако да ће плазма произвести ефекат локалне конвергенције, што ће учинити брзину распршивања нагризања локалног положаја на мети изузетно великом, а резултат ће бити значајно неравномерно нагризање на мети. Стопа искоришћења материјала мете је генерално око 30%. Да би се побољшала стопа искоришћења материјала мете, могу се предузети разне мере побољшања, као што је побољшање облика и расподеле магнетног поља мете, тако да се магнет креће унутар катоде мете.
(6) Распршивање магнетних материјала мете је тешко. Ако је мета за распршивање направљена од материјала са високом магнетном пермеабилношћу, линије магнетног поља ће директно пролазити и тако даље. Унутар мете долази до магнетног кратког споја, што отежава пражњење. Да би се генерисало просторно магнетно поље, спроведене су разне студије, на пример, засићење магнетног поља унутар мете, остављање многих празнина на мети како би се подстакло генерисање више магнетизма цурења, што би повећало температуру мете или смањило магнетну пермеабилност мете.
– Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 08.09.2023.