Í fyrri greininni ræddum við um eiginleika spúttunarhúðunar og þessi grein mun halda áfram að útskýra eiginleika spúttunarhúðunar.
(4) Hitastig undirlagsins er lágt. Sprautunarhraðinn við sprautun er mikill vegna þess að rafeindaþéttni er mikil innan segulsviðssvæðis katóðumarksins, þ.e. á litlu svæði á útblástursbraut marksins, og utan segulvirknisvæðisins, sérstaklega nálægt yfirborði undirlagsins langt frá segulsviðinu, er rafeindaþéttnin mun lægri vegna fráviks og getur jafnvel verið lægri en við tvíþætta sprautun (vegna þess að rekstrargasþrýstingur þeirra tveggja er umtalsvert ólíkur). Þess vegna, við sprautunarskilyrði, er rafeindaþéttnin á yfirborði sprengjuárásarinnar mun lægri en við hefðbundna auka sprautun og forðast er óhóflega hækkun á hitastigi undirlagsins vegna fækkunar rafeinda í innfallandi undirlaginu. Að auki, í spúttunaraðferðinni, getur anóða spúttunarbúnaðarins verið staðsett í kringum bakskautið, og undirlagsgrindin getur einnig verið í sviflausn, þannig að rafeindir geti flætt í gegnum anóðuna án þess að fara í gegnum jarðtengda undirlagsgrindina, og þannig dregið úr orkuríkum rafeindum sem skjóta á undirlagið, draga úr aukningu á undirlagshita af völdum rafeindaáfalls og draga verulega úr hita af völdum annars stigs rafeindaáfalls á undirlagið.
(5) Ójöfn etsun á skotmarkinu. Í hefðbundnu spúttunarmarki er notað óeinsleitt segulsvið, þannig að plasmaið mun framleiða staðbundin samleitniáhrif, sem gerir spúttunaretsunarhraða staðbundinnar staðsetningar á skotmarkinu afar stóran og afleiðingin verður veruleg ójöfn etsun á skotmarkinu. Nýtingarhlutfall skotmarksefna er almennt um 30%. Til að bæta nýtingarhlutfall skotmarksefnisins er hægt að grípa til ýmissa úrbóta, svo sem að bæta lögun og dreifingu segulsviðs skotmarksins, þannig að segullinn hreyfist inni í skotmarkskatúninu.
(6) Það er erfitt að spútra segulmagnað efni í skotmarki. Ef spúttarmarkið er úr efni með mikla segulgegndræpi munu segulsviðslínur fara beint í gegn og svo framvegis. Segulmagnað skammhlaup verður inni í skotmarkinu, sem gerir útskrift erfiða. Til að mynda rúmfræðilegt segulsvið hafa ýmsar rannsóknir verið gerðar, til dæmis með því að metta segulsviðið inni í skotmarkinu og skilja eftir mörg eyður á skotmarkinu til að stuðla að því að það myndi meiri leka segulmagn sem eykur hitastig skotmarksins eða dregur úr segulgegndræpi skotmarksins.
– Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 8. september 2023