Алдыңғы мақалада біз шашырату жабындарының сипаттамалары туралы айтқан болатынбыз, және бұл мақалада шашырату жабындарының сипаттамалары түсіндірілуде.
(4) Субстрат температурасы төмен. Шашыратудың шашырау жылдамдығы жоғары, себебі электрондардың концентрациясы катод нысанасының магнит өрісі аймағында, яғни нысана разрядтау жолағындағы шағын жергілікті аймақта және магниттік әсер ету аймағынан тыс жерде, әсіресе магнит өрісінен алыс субстрат бетіне жақын жерде, электрондардың концентрациясы дивергенцияға байланысты әлдеқайда төмен және тіпті екілік шашыраудан төмен болуы мүмкін (өйткені екеуінің жұмыс газының қысымы әртүрлі). Сондықтан, шашырау жағдайында бомбаланған субстрат бетіндегі электрондардың концентрациясы кәдімгі екінші реттік шашыраудан әлдеқайда төмен, ал түсетін субстраттағы электрондар санының азаюына байланысты субстрат температурасының шамадан тыс жоғарылауына жол берілмейді. Сонымен қатар, тозаңдату әдісінде тозаңдату құрылғысының анодын катодтың айналасына орналастыруға болады, ал субстрат рамасы да аспалы потенциалда болуы мүмкін, сондықтан электрондар жерге қосылған субстрат рамасынан өтпей анод арқылы ағып кете алады, осылайша жабын төсенішін бомбалайтын жоғары энергиялы электрондарды азайтады, электрондардың түсуінен туындаған субстрат жылуының артуын азайтады және субстраттың екінші реттік электронды бомбалауынан туындаған жылуды айтарлықтай азайтады.
(5) Нысананы біркелкі емес ою. Дәстүрлі тозаңдату нысанасында біртекті емес магнит өрісі қолданылады, сондықтан плазма жергілікті конвергенция әсерін тудырады, бұл нысанадағы жергілікті позицияның тозаңдату ою жылдамдығын өте жоғары етеді және нәтижесінде нысанада айтарлықтай біркелкі емес ою пайда болады. Нысаналы материалдарды пайдалану деңгейі әдетте шамамен 30% құрайды. Нысаналы материалды пайдалану деңгейін жақсарту үшін магнит нысана катодының ішінде қозғалатындай етіп, нысана магнит өрісінің пішіні мен таралуын жақсарту сияқты әртүрлі жақсарту шараларын қолдануға болады.
(6) Магниттік материал нысанасын шашырату қиын. Егер шашырату нысанасы жоғары магниттік өткізгіштігі бар материалдан жасалған болса, магнит өрісі сызықтары тікелей өтеді және т.б. Нысана ішінде магниттік қысқа тұйықталу пайда болады, бұл разрядты қиындатады. Кеңістіктік магнит өрісін жасау үшін әртүрлі зерттеулер жүргізілді, мысалы, нысананың ішіндегі магнит өрісін қанықтыру, нысанада көптеген бос орындар қалдыру, нысананың температурасын арттыру немесе нысананың магниттік өткізгіштігін төмендету үшін көбірек ағып кету магнетизмін тудыруға ықпал ету.
– Бұл мақала жарияландывакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 8 қыркүйек