Мурунку макалада биз чачыратуучу каптоолордун мүнөздөмөлөрү жөнүндө сөз кылганбыз, жана бул макалада чачыратуучу каптоолордун мүнөздөмөлөрү түшүндүрүлөт.
(4) Субстраттын температурасы төмөн. Чачырануунун чачыратуу ылдамдыгы жогору, анткени катоддук бутасынын магнит талаасынын аймагында, башкача айтканда, бута разряддоо тилкесиндеги кичинекей жергиликтүү аймакта жана магниттик аракет аймагынын сыртында, айрыкча магнит талаасынан алыс жайгашкан субстраттын бетине жакын жерде, электрондордун концентрациясы дивергенциядан улам бир топ төмөн жана ал тургай экилик чачыратуудан да төмөн болушу мүмкүн (анткени экөөнүн иштөөчү газ басымы бир топ айырмаланат). Ошондуктан, чачыратуу шарттарында бомбаланган субстраттын бетиндеги электрондордун концентрациясы кадимки экинчилик чачыратуудагыга караганда бир топ төмөн жана түшкөн субстраттагы электрондордун санынын азайышынан улам субстраттын температурасынын ашыкча жогорулашынан качууга болот. Мындан тышкары, чачыратуу ыкмасында чачыратуу түзүлүшүнүн аноду катоддун айланасында жайгашышы мүмкүн, ал эми субстраттын алкагы да асма потенциалда болушу мүмкүн, ошондуктан электрондор жерге туташтырылган субстрат алкагынан өтпөй анод аркылуу агып кетиши мүмкүн, ошону менен капталган субстратты бомбалаган жогорку энергиялуу электрондорду азайтып, электрондордун түшүшүнөн улам пайда болгон субстраттын ысыгы көбөйүшүн азайтып, субстратты экинчилик электрондук бомбалоодон пайда болгон жылуулукту бир топ азайтат.
(5) Бутаны бирдей эмес оюу. Салттуу чачыратуучу бутада бирдей эмес магнит талаасы колдонулат, ошондуктан плазма жергиликтүү конвергенция эффектин пайда кылат, бул бутанын жергиликтүү абалындагы чачыратуучу оюу ылдамдыгын өтө чоң кылат жана натыйжада бутада олуттуу бирдей эмес оюу болот. Максаттуу материалдарды пайдалануу көрсөткүчү жалпысынан 30% түзөт. Максаттуу материалды пайдалануу көрсөткүчүн жакшыртуу үчүн, ар кандай жакшыртуу чараларын көрүүгө болот, мисалы, максаттуу магнит талаасынын формасын жана бөлүштүрүлүшүн жакшыртуу, ошондо магнит максаттуу катоддун ичинде жылат.
(6) Магниттик материалдан жасалган бутага чачыратуу кыйын. Эгерде чачыратуу бутасына жогорку магниттик өткөрүмдүүлүк берилген материалдан жасалган болсо, магнит талаасынын сызыктары түз өтөт жана башкалар. Бутанын ичинде магниттик кыска туташуу пайда болуп, разряддоону кыйындатат. Мейкиндик магнит талаасын түзүү үчүн ар кандай изилдөөлөр жүргүзүлдү, мисалы, бутанын ичиндеги магнит талаасын каныктырып, бутага көптөгөн боштуктарды калтырып, аны көбүрөөк агып кетүү магнетизмин пайда кылып, бутанын температурасын жогорулатуу же бутанын магниттик өткөрүмдүүлүгүн азайтуу үчүн күчөтүү.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 8-сентябры