Tao amin'ny lahatsoratra teo aloha, dia niresaka momba ny toetran'ny coatings sputtering isika, ary ity lahatsoratra ity dia hanohy hanazava ny toetran'ny coatings sputtering.
(4) Ambany ny mari-pana ao amin'ny substrate. Avo ny tahan'ny sputtering satria avo ny fifantohan'ny elektrôna ao anatin'ny faritra misy ny saha magnetika ao amin'ny lasibatra cathode, izany hoe, ao amin'ny faritra kely eo amin'ny lalana fivoahan'ny lasibatra, ary ivelan'ny faritra misy ny fiasan'ny magnetika, indrindra fa akaikin'ny velaran'ny substrate lavitra ny saha magnetika, dia ambany lavitra ny fifantohan'ny elektrôna noho ny divergence, ary mety ho ambany kokoa noho ny an'ny sputtering binary (satria samy hafa be ny tsindrin'ny entona miasa amin'izy roa). Noho izany, amin'ny toe-javatra sputtering, ny fifantohan'ny elektrôna eo amin'ny velaran'ny substrate voadaroka baomba dia ambany lavitra noho ny an'ny sputtering faharoa mahazatra, ary voasoroka ny fiakaran'ny mari-pana be loatra ao amin'ny substrate noho ny fihenan'ny isan'ny elektrôna ao amin'ny substrate miditra. Ankoatra izany, amin'ny fomba sputtering, ny anode amin'ny fitaovana sputtering dia azo apetraka manodidina ny cathode, ary ny frame substrate dia mety ho amin'ny hery mihantona ihany koa, mba hahafahan'ny elektrôna mikoriana miala amin'ny anode nefa tsy mandalo ny frame substrate amin'ny tany, ka mampihena ny elektrôna angovo avo lenta izay mandona ny substrate voapetaka, mampihena ny fitomboan'ny hafanan'ny substrate vokatry ny fidiran'ny elektrôna, ary mampihena be ny hafanana vokatry ny baomba elektrôna faharoa amin'ny substrate.
(5) Fanosehana tsy mitovy amin'ny lasibatra. Amin'ny lasibatra sputtering nentim-paharazana, ampiasaina ny saha magnetika tsy mitovy, ka ny plasma dia hamokatra vokatra fifanandrinana eo an-toerana, izay hahatonga ny tahan'ny sputtering amin'ny toerana eo an-toerana ho lehibe dia lehibe, ary ny vokany dia ho fanesoana tsy mitovy amin'ny lasibatra. Ny tahan'ny fampiasana ny fitaovana kendrena dia amin'ny ankapobeny dia eo amin'ny 30%. Mba hanatsarana ny tahan'ny fampiasana ny fitaovana kendrena, dia azo atao ny mandray fepetra fanatsarana isan-karazany, toy ny fanatsarana ny endrika sy ny fizarana ny saha magnetika kendrena, mba hivezivezen'ny andriamby ao anatin'ny katôda kendrena.
(6) Sarotra ny manaparitaka ny lasibatra amin'ny fitaovana magnetika. Raha vita amin'ny fitaovana manana permeability magnetika avo lenta ny lasibatra, dia handalo mivantana ireo tsipika saha magnetika sy ny sisa. Misy circuit court magnetika mitranga ao anatin'ny lasibatra, ka mahatonga ny famoahana ho sarotra. Mba hamoronana saha magnetika ara-habakabaka, dia nisy fanadihadiana isan-karazany natao, ohatra, ny famenoana ny saha magnetika ao anatin'ny lasibatra, ka mamela banga maro eo amin'ny lasibatra mba hampiroboroboana ny famokarana andriamby mitete bebe kokoa mba hampitomboana ny mari-pana ao amin'ny lasibatra, na hampihena ny permeability magnetika ao amin'ny lasibatra.
- Navoakan'nympanamboatra milina fanosotra bangaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: 08 Septambra 2023