Алдагы мәкаләдә без сиптерү капламаларының үзенчәлекләре турында сөйләштек, һәм бу мәкаләдә сиптерү капламаларының үзенчәлекләре аңлатыла барачак.
(4) Субстрат температурасы түбән. Сиптерү тизлеге югары, чөнки электроннар концентрациясе катод максатының магнит кыры өлкәсендә югары, ягъни максат разряд полосасындагы кечкенә локаль өлкәдә һәм магнит тәэсире өлкәсеннән читтә, бигрәк тә магнит кырыннан ерак булган субстрат өслегенә якын, электрон концентрациясе дивергенция аркасында күпкә түбәнрәк, хәтта икеләтә сиптерүдән дә түбәнрәк булырга мөмкин (чөнки икесенең дә эш газы басымы төрлечә). Шуңа күрә, сиптерү шартларында, бомбардированиеләнгән субстрат өслегендәге электрон концентрациясе гадәти икенчел сиптерүдән күпкә түбәнрәк, һәм төшкән субстраттагы электроннар саны кимү сәбәпле, субстрат температурасының артык артуыннан сакланырга мөмкин. Моннан тыш, сиптерү ысулында сиптерү җайланмасының анодын катод тирәсендә урнаштырырга мөмкин, һәм субстрат рамкасы да асылмалы потенциалда булырга мөмкин, шуңа күрә электроннар җиргә тоташтырылган субстрат рамкасы аша үтмичә анод аша агып китә ала, шуның белән пластиналанган субстратка бомбага тотучы югары энергияле электроннарны киметә, электроннар төшүе аркасында субстрат җылылыгы артуын киметә һәм субстратны икенчел электрон бомбага тотуы нәтиҗәсендә барлыкка килгән җылылыкны сизелерлек киметә.
(5) Максатның тигез булмаган сыдырылуы. Традицион сиптерү максатында бер төрле булмаган магнит кыры кулланыла, шуңа күрә плазма җирле конвергенция эффекты тудырачак, бу максаттагы җирле позициянең сиптерү сыдырылуын бик зур итәчәк, һәм нәтиҗәдә максатта тигез булмаган сыдырылу булачак. Максат материалларын куллану дәрәҗәсе, гадәттә, якынча 30% тәшкил итә. Максат материалын куллану дәрәҗәсен яхшырту өчен, төрле яхшырту чараларын күрергә мөмкин, мәсәлән, максат магнит кырының формасын һәм таралышын яхшырту, шуңа күрә магнит максат катоды эчендә хәрәкәт итә.
(6) Магнит материалы белән максатны сиптерү авыр. Әгәр сиптерү максаты югары магнит үткәрүчәнлеге булган материалдан ясалган булса, магнит кыры сызыклары турыдан-туры узачак һ.б. Максат эчендә магнит кыска ялганышы барлыкка килә, бу разрядны авырайта. Фәза магнит кырын булдыру өчен төрле тикшеренүләр үткәрелде, мәсәлән, максат эчендәге магнит кырын туендырып, максатта күп бушлыклар калдырып, аны күбрәк агып чыгу магнетизмын тудырырга ярдәм итү, максатның температурасын арттыру яки максатның магнит үткәрүчәнлеген киметү.
– Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырылган вакыты: 2023 елның 8 сентябре