U prethodnom članku govorili smo o karakteristikama premaza za raspršivanje, a ovaj članak će nastaviti objašnjavati karakteristike premaza za raspršivanje.
(4) Temperatura podloge je niska. Brzina raspršivanja je visoka jer je koncentracija elektrona visoka unutar područja magnetskog polja katodne mete, odnosno u malom lokalnom području na stazi za izbijanje mete, a izvan područja magnetskog djelovanja, posebno blizu površine podloge daleko od magnetskog polja, koncentracija elektrona je mnogo niža zbog divergencije, a može biti čak i niža nego kod binarnog raspršivanja (jer je radni tlak plina dvaju sustava različit za red veličine). Stoga je, pod uvjetima raspršivanja, koncentracija elektrona na površini bombardirane podloge mnogo niža nego kod običnog sekundarnog raspršivanja, a prekomjerno povećanje temperature podloge se izbjegava zbog smanjenja broja elektrona u upadnoj podlozi. Osim toga, kod metode raspršivanja, anoda uređaja za raspršivanje može biti smještena oko katode, a okvir supstrata također može biti na suspendiranom potencijalu, tako da elektroni mogu teći kroz anodu bez prolaska kroz uzemljeni okvir supstrata, čime se smanjuju elektroni visoke energije koji bombardiraju pozlaćeni supstrat, smanjuje se povećanje topline supstrata uzrokovano upadom elektrona i znatno se smanjuje toplina uzrokovana sekundarnim bombardiranjem supstrata elektronima.
(5) Neravnomjerno jetkanje mete. Kod tradicionalne mete za raspršivanje koristi se nehomogeno magnetsko polje, pa će plazma proizvesti lokalni konvergencijski efekt, što će učiniti brzinu raspršivanja jetkanja lokalnog položaja na meti izuzetno velikom, a rezultat će biti značajno neravnomjerno jetkanje na meti. Stopa iskorištenja materijala mete općenito je oko 30%. Kako bi se poboljšala stopa iskorištenja materijala mete, mogu se poduzeti različite mjere poboljšanja, kao što je poboljšanje oblika i raspodjele magnetskog polja mete, tako da se magnet kreće unutar katode mete.
(6) Raspršivanje mete od magnetskog materijala je teško. Ako je meta za raspršivanje izrađena od materijala s visokom magnetskom permeabilnošću, linije magnetskog polja će prolaziti izravno i tako dalje. Unutar mete dolazi do magnetskog kratkog spoja, što otežava pražnjenje. Kako bi se generiralo prostorno magnetsko polje, provedene su razne studije, na primjer, zasićenje magnetskog polja unutar mete, ostavljanje mnogih praznina na meti kako bi se potaknulo generiranje većeg magnetizma rasipanja za povećanje temperature mete ili smanjenje magnetske permeabilnosti mete.
– Ovaj članak objavljujeproizvođač strojeva za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 08.09.2023.