Iepriekšējā rakstā mēs runājām par izsmidzināšanas pārklājumu īpašībām, un šajā rakstā mēs turpināsim skaidrot izsmidzināšanas pārklājumu īpašības.
(4) Substrāta temperatūra ir zema. Izsmidzināšanas ātrums ir augsts, jo elektronu koncentrācija katoda mērķa magnētiskā lauka apgabalā, t.i., nelielā lokālā apgabalā uz mērķa izlādes skrejceļa, ir augsta, un ārpus magnētiskās darbības apgabala, īpaši substrāta virsmas tuvumā, tālu no magnētiskā lauka, elektronu koncentrācija ir daudz zemāka diverģences dēļ un var būt pat zemāka nekā binārajā izsmidzināšanā (jo abu darba gāzes spiediens atšķiras par vienu kārtu). Tāpēc izsmidzināšanas apstākļos elektronu koncentrācija uz bombardētā substrāta virsmas ir daudz zemāka nekā parastajā sekundārajā izsmidzināšanā, un substrāta temperatūras pārmērīga paaugstināšanās tiek novērsta, samazinoties elektronu skaitam substrātā. Turklāt, izmantojot izsmidzināšanas metodi, izsmidzināšanas ierīces anods var atrasties ap katodu, un substrāta rāmis var atrasties arī ar suspendētu potenciālu, lai elektroni varētu izplūst caur anodu, neizejot cauri iezemētajam substrāta rāmim, tādējādi samazinot augstas enerģijas elektronus, kas bombardē pārklāto substrātu, samazinot substrāta siltuma pieaugumu, ko izraisa elektronu sastopamība, un ievērojami samazinot substrāta sekundārās elektronu bombardēšanas radīto siltumu.
(5) Nevienmērīga mērķa kodināšana. Tradicionālajā izsmidzināšanas mērķī tiek izmantots nehomogēns magnētiskais lauks, tāpēc plazma radīs lokālu konverģences efektu, kas lokālās pozīcijas izsmidzināšanas kodināšanas ātrumu uz mērķa padarīs ārkārtīgi lielu, kā rezultātā kodināšana uz mērķa būs ievērojami nevienmērīga. Mērķa materiālu izmantošanas līmenis parasti ir aptuveni 30%. Lai uzlabotu mērķa materiāla izmantošanas līmeni, var veikt dažādus uzlabošanas pasākumus, piemēram, uzlabot mērķa magnētiskā lauka formu un sadalījumu, lai magnēts pārvietotos mērķa katoda iekšpusē.
(6) Magnētiskā materiāla mērķa izsmidzināšana ir sarežģīta. Ja izsmidzināšanas mērķis ir izgatavots no materiāla ar augstu magnētisko caurlaidību, magnētiskā lauka līnijas ies tieši utt. Mērķa iekšpusē rodas magnētiskais īsslēgums, kas apgrūtina izlādi. Lai radītu telpisku magnētisko lauku, ir veikti dažādi pētījumi, piemēram, magnētiskā lauka piesātināšana mērķa iekšpusē, atstājot uz mērķa daudz spraugu, lai veicinātu lielāka magnētisma noplūdi, tādējādi palielinot mērķa temperatūru vai samazinot mērķa magnētisko caurlaidību.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2023. gada 8. septembris