Nan atik anvan an, nou te pale sou karakteristik kouch pulverizasyon, epi atik sa a pral kontinye eksplike karakteristik kouch pulverizasyon yo.
(4) Tanperati substrat la ba. Vitès pulverizasyon pulverizasyon an wo paske konsantrasyon elektwon yo wo nan rejyon chan mayetik sib katod la, sa vle di, nan yon ti zòn lokal sou pist egzeyat sib la, epi deyò rejyon aksyon mayetik la, espesyalman toupre sifas substrat la lwen chan mayetik la, konsantrasyon elektwon an pi ba anpil akòz divèjans, e li ka menm pi ba pase sa ki nan pulverizasyon binè (paske presyon gaz fonksyònman de yo diferan yon lòd mayitid). Se poutèt sa, anba kondisyon pulverizasyon, konsantrasyon elektwon sou sifas substrat bonbade a pi ba anpil pase sa ki nan pulverizasyon segondè òdinè, epi ogmantasyon twòp nan tanperati substrat la evite akòz diminisyon nan kantite elektwon nan substrat ensidan an. Anplis de sa, nan metòd pulverizasyon an, anod aparèy pulverizasyon an ka sitiye alantou katod la, epi ankadreman substrat la kapab tou nan yon potansyèl sispann, pou elektwon yo ka koule ale nan anod la san yo pa pase nan ankadreman substrat ki konekte atè a, kidonk diminye elektwon ki gen gwo enèji ki bonbade substrat plake a, diminye ogmantasyon chalè substrat ki koze pa ensidans elektwon, epi diminye anpil chalè ki koze pa bonbadman elektwon segondè sou substrat la.
(5) Gravure inegal sib la. Nan sib tradisyonèl pou pulverizasyon, yo itilize yon chan mayetik ki pa omojèn, kidonk plasma a pral pwodui yon efè konvèjans lokal, ki pral fè to grave pulverizasyon pozisyon lokal la sou sib la trè wo, e rezilta a pral yon grave inegal siyifikatif sou sib la. To itilizasyon materyèl sib la jeneralman se anviwon 30%. Pou amelyore to itilizasyon materyèl sib la, yo ka pran plizyè mezi amelyorasyon, tankou amelyore fòm ak distribisyon chan mayetik sib la, pou leman an ka deplase andedan katod sib la.
(6) Pulverizasyon sib materyèl mayetik la difisil. Si sib pulverizasyon an fèt ak yon materyèl ki gen gwo pèmeyabilite mayetik, liy chan mayetik yo ap pase dirèkteman, elatriye. Yon kous sikwi mayetik rive andedan sib la, sa ki fè egzeyat la difisil. Pou jenere yon chan mayetik espasyal, yo te fè plizyè etid, pa egzanp, satire chan mayetik la andedan sib la, kite anpil espas sou sib la pou ankouraje li jenere plis mayetis flit pou ogmante tanperati sib la, oswa diminye pèmeyabilite mayetik sib la.
– Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 8 septanm 2023