മുൻ ലേഖനത്തിൽ, സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗുകളുടെ സവിശേഷതകളെക്കുറിച്ച് ഞങ്ങൾ സംസാരിച്ചു, ഈ ലേഖനം സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗുകളുടെ സവിശേഷതകൾ വിശദീകരിക്കുന്നത് തുടരും.
(4) അടിവസ്ത്ര താപനില കുറവാണ്. കാഥോഡ് ടാർഗെറ്റിന്റെ കാന്തികക്ഷേത്ര മേഖലയ്ക്കുള്ളിൽ, അതായത്, ടാർഗെറ്റ് ഡിസ്ചാർജ് റൺവേയിലെ ഒരു ചെറിയ ലോക്കൽ ഏരിയയിലും, കാന്തിക പ്രവർത്തന മേഖലയ്ക്ക് പുറത്ത്, പ്രത്യേകിച്ച് കാന്തികക്ഷേത്രത്തിൽ നിന്ന് വളരെ അകലെയുള്ള അടിവസ്ത്ര ഉപരിതലത്തിന് സമീപം, ഇലക്ട്രോൺ സാന്ദ്രത വ്യതിചലനം കാരണം വളരെ കുറവായതിനാൽ സ്പട്ടറിംഗിന്റെ സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് കൂടുതലാണ്. ബൈനറി സ്പട്ടറിംഗിനെക്കാൾ കുറവായിരിക്കാം (കാരണം രണ്ടിന്റെയും പ്രവർത്തന വാതക മർദ്ദം വ്യത്യസ്ത അളവിലുള്ള ക്രമമാണ്). അതിനാൽ, സ്പട്ടറിംഗ് സാഹചര്യങ്ങളിൽ, ബോംബാർഡ് ചെയ്ത അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിലെ ഇലക്ട്രോൺ സാന്ദ്രത സാധാരണ ദ്വിതീയ സ്പട്ടറിംഗിനെ അപേക്ഷിച്ച് വളരെ കുറവാണ്, കൂടാതെ സംഭവ അടിവസ്ത്രത്തിലെ ഇലക്ട്രോണുകളുടെ എണ്ണത്തിലെ കുറവ് കാരണം സബ്സ്ട്രേറ്റ് താപനിലയിലെ അമിതമായ വർദ്ധനവ് ഒഴിവാക്കപ്പെടുന്നു. കൂടാതെ, സ്പട്ടറിംഗ് രീതിയിൽ, സ്പട്ടറിംഗ് ഉപകരണത്തിന്റെ ആനോഡ് കാഥോഡിന് ചുറ്റും സ്ഥിതിചെയ്യാം, കൂടാതെ സബ്സ്ട്രേറ്റ് ഫ്രെയിമിന് സസ്പെൻഡ് ചെയ്ത പൊട്ടൻഷ്യലിലും സ്ഥിതിചെയ്യാം, അങ്ങനെ ഇലക്ട്രോണുകൾക്ക് ഗ്രൗണ്ടഡ് സബ്സ്ട്രേറ്റ് ഫ്രെയിമിലൂടെ കടന്നുപോകാതെ ആനോഡിലൂടെ ഒഴുകാൻ കഴിയും, അതുവഴി പ്ലേറ്റഡ് സബ്സ്ട്രേറ്റിനെ ബോംബ് ചെയ്യുന്ന ഉയർന്ന ഊർജ്ജ ഇലക്ട്രോണുകൾ കുറയ്ക്കുകയും, ഇലക്ട്രോൺ സംഭവങ്ങൾ മൂലമുണ്ടാകുന്ന സബ്സ്ട്രേറ്റ് താപത്തിന്റെ വർദ്ധനവ് കുറയ്ക്കുകയും, സബ്സ്ട്രേറ്റിന്റെ ദ്വിതീയ ഇലക്ട്രോൺ ബോംബാർഡ്മെന്റ് മൂലമുണ്ടാകുന്ന താപം വളരെയധികം കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
(5) ലക്ഷ്യത്തിന്റെ അസമമായ എച്ചിംഗ്. പരമ്പരാഗത സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിൽ, ഒരു അസമമായ കാന്തികക്ഷേത്രം ഉപയോഗിക്കുന്നു, അതിനാൽ പ്ലാസ്മ ഒരു പ്രാദേശിക സംയോജന പ്രഭാവം ഉണ്ടാക്കും, ഇത് ലക്ഷ്യത്തിലെ പ്രാദേശിക സ്ഥാനത്തിന്റെ സ്പട്ടറിംഗ് എച്ചിംഗ് നിരക്ക് വളരെ വലുതാക്കും, കൂടാതെ ഫലം ലക്ഷ്യത്തിൽ ഗണ്യമായ അസമമായ എച്ചിംഗ് ആയിരിക്കും. ലക്ഷ്യ വസ്തുക്കളുടെ ഉപയോഗ നിരക്ക് സാധാരണയായി ഏകദേശം 30% ആണ്. ലക്ഷ്യ വസ്തുക്കളുടെ ഉപയോഗ നിരക്ക് മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന്, ലക്ഷ്യ കാന്തികക്ഷേത്രത്തിന്റെ ആകൃതിയും വിതരണവും മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നത് പോലുള്ള വിവിധ മെച്ചപ്പെടുത്തൽ നടപടികൾ സ്വീകരിക്കാൻ കഴിയും, അങ്ങനെ കാന്തം ലക്ഷ്യ കാഥോഡിനുള്ളിൽ നീങ്ങുന്നു.
(6) കാന്തിക വസ്തുക്കളുടെ ലക്ഷ്യം സ്പട്ടറിംഗ് ബുദ്ധിമുട്ടാണ്. സ്പട്ടറിംഗ് ലക്ഷ്യം ഉയർന്ന കാന്തിക പ്രവേശനക്ഷമതയുള്ള ഒരു വസ്തു കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചതെങ്കിൽ, കാന്തികക്ഷേത്രരേഖകൾ നേരിട്ട് കടന്നുപോകും. ലക്ഷ്യത്തിനുള്ളിൽ ഒരു കാന്തിക ഷോർട്ട് സർക്യൂട്ട് സംഭവിക്കുന്നു, ഇത് ഡിസ്ചാർജ് ബുദ്ധിമുട്ടാക്കുന്നു. ഒരു സ്പേഷ്യൽ കാന്തികക്ഷേത്രം സൃഷ്ടിക്കുന്നതിന്, വിവിധ പഠനങ്ങൾ നടത്തിയിട്ടുണ്ട്, ഉദാഹരണത്തിന്, ലക്ഷ്യത്തിനുള്ളിൽ കാന്തികക്ഷേത്രം പൂരിതമാക്കുക, ലക്ഷ്യത്തിന്റെ താപനില വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിനോ ലക്ഷ്യത്തിന്റെ കാന്തിക പ്രവേശനക്ഷമത കുറയ്ക്കുന്നതിനോ കൂടുതൽ ചോർച്ച കാന്തികത സൃഷ്ടിക്കുന്നതിന് ലക്ഷ്യത്തിൽ നിരവധി വിടവുകൾ അവശേഷിപ്പിക്കുക.
– ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്ഗുവാങ്ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ
പോസ്റ്റ് സമയം: സെപ്റ്റംബർ-08-2023