Ankstesniame straipsnyje kalbėjome apie purškiamųjų dangų savybes, o šiame straipsnyje toliau aiškinsime purškiamųjų dangų savybes.
(4) Pagrindo temperatūra yra žema. Dulkinimo greitis yra didelis, nes elektronų koncentracija yra didelė katodo taikinio magnetinio lauko srityje, t. y. mažoje vietinėje taikinio išleidimo tako srityje, o už magnetinio veikimo srities ribų, ypač šalia padėklo paviršiaus, toli nuo magnetinio lauko, elektronų koncentracija yra daug mažesnė dėl divergencijos ir gali būti net mažesnė nei dvejetainio dulkinimo metu (nes abiejų darbinių dujų slėgis skiriasi vienu dydžio eilės tvarka). Todėl dulkinimo sąlygomis elektronų koncentracija bombarduojamo padėklo paviršiuje yra daug mažesnė nei įprasto antrinio dulkinimo metu, o dėl sumažėjusio elektronų skaičiaus krintančiame padėkle išvengiama per didelio padėklo temperatūros padidėjimo. Be to, taikant purškimo metodą, purškimo įrenginio anodas gali būti išdėstytas aplink katodą, o substrato rėmas taip pat gali būti ir suspenduoto potencialo, kad elektronai galėtų tekėti per anodą nepraeidami pro įžemintą substrato rėmą, taip sumažinant padengtą substratą bombarduojančių didelės energijos elektronų kiekį, sumažinant elektronų kritimo sukeltą substrato šilumos padidėjimą ir žymiai sumažinant substrato antrinio elektronų bombardavimo sukeltą šilumą.
(5) Netolygus taikinio ėsdinimas. Tradiciniame purškimo taikinyje naudojamas nehomogeninis magnetinis laukas, todėl plazma sukuria vietinį konvergencijos efektą, dėl kurio vietinės padėties purškimo ėsdinimo greitis taikinyje bus labai didelis, todėl taikinyje bus pastebimai netolygus ėsdinimas. Taikinio medžiagos panaudojimo lygis paprastai yra apie 30 %. Siekiant pagerinti taikinio medžiagos panaudojimo lygį, galima imtis įvairių tobulinimo priemonių, pavyzdžiui, pagerinti taikinio magnetinio lauko formą ir pasiskirstymą, kad magnetas judėtų taikinio katodo viduje.
(6) Magnetinės medžiagos taikinio dulkinimas yra sudėtingas. Jei dulkinimo taikinys pagamintas iš medžiagos, turinčios didelį magnetinį pralaidumą, magnetinio lauko linijos eis tiesiai ir pan. Taikinio viduje atsiranda magnetinis trumpasis jungimas, todėl iškrovimas yra sunkus. Siekiant sukurti erdvinį magnetinį lauką, buvo atlikti įvairūs tyrimai, pavyzdžiui, taikinio viduje esantis magnetinis laukas buvo prisotintas, paliekant daug tarpų taikinyje, kad būtų skatinamas didesnis magnetizmo nuotėkis, taip padidinant taikinio temperatūrą arba sumažinant taikinio magnetinį pralaidumą.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2023 m. rugsėjo 8 d.