Nínú àpilẹ̀kọ tó ṣáájú, a sọ̀rọ̀ nípa àwọn ànímọ́ ìbòrí ìbòrí ìbòrí, àpilẹ̀kọ yìí yóò sì máa ṣàlàyé àwọn ànímọ́ ìbòrí ìbòrí ìbòrí.
(4) Iwọn otutu substrate kere. Oṣuwọn sputtering ti sputtering ga nitori pe ifọkansi awọn elekitironi ga laarin agbegbe aaye oofa ti afojusun cathode, iyẹn ni, ni agbegbe kekere kan lori oju opopona itusilẹ afojusun, ati ni ita agbegbe iṣe oofa, paapaa nitosi oju ilẹ ti o jinna si aaye oofa, ifọkansi elekitironi kere pupọ nitori iyatọ, o si le kere ju ti sputtering binary (nitori pe titẹ gaasi ti n ṣiṣẹ ti awọn meji yatọ si iwọn). Nitorinaa, labẹ awọn ipo sputtering, ifọkansi elekitironi lori oju ilẹ ti substrate ti a bombarded kere pupọ ju ti ni sputtering keji lasan lọ, ati ilosoke pupọ ninu iwọn otutu substrate ni a yago fun nitori idinku ninu nọmba awọn elekitironi ninu substrate iṣẹlẹ. Ní àfikún, nínú ọ̀nà ìfọ́nká, anode ẹ̀rọ ìfọ́nká lè wà ní àyíká cathode, àti pé frame substrate náà lè wà ní agbára tí a gbé dúró, kí àwọn elekitironi lè ṣàn lọ nípasẹ̀ anode láì la frame substrate tí a gúnlẹ̀ kọjá, nípa bẹ́ẹ̀ dín àwọn elekitironi agbára gíga tí ó ń bomi bo substrate tí a fi bò mọ́lẹ̀ kù, dín ìbísí ooru substrate tí ìṣẹ̀lẹ̀ elekitironi fà kù, àti dín ooru tí ìbọn elekitironi kejì ti substrate náà fà kù gidigidi.
(5) Ìfọ́nrán tí kò dọ́gba ti àfojúsùn náà. Nínú àfojúsùn ìfọ́nrán tí a ti ṣe tẹ́lẹ̀, a lo pápá mágnẹ́ẹ̀tì tí kò ní ìṣọ̀kan, nítorí náà, plasma yóò mú ipa ìdàpọ̀ agbègbè jáde, èyí tí yóò mú kí ìwọ̀n ìfọ́nrán tí ó wà ní ipò agbègbè lórí àfojúsùn náà tóbi gan-an, àbájáde rẹ̀ yóò sì jẹ́ ìfọ́nrán tí kò dọ́gba tí ó ṣe pàtàkì lórí àfojúsùn náà. Ìwọ̀n lílo àwọn ohun èlò ìfọ́nrán jẹ́ nǹkan bí 30%. Láti lè mú ìwọ̀n lílo ohun èlò ìfọ́nrán náà sunwọ̀n sí i, a lè ṣe onírúurú ìgbésẹ̀ ìdàgbàsókè, bíi mímú ìrísí àti ìpínkiri pápá mágnẹ́ẹ̀tì ohun èlò náà sunwọ̀n sí i, kí mágnẹ́ẹ̀tì náà lè máa rìn sínú kátódì ohun èlò ìfọ́nrán náà
(6) Fífi ohun èlò mágnẹ́ẹ̀tì ṣe àfojúsùn ìfọ́nká náà ṣòro. Tí ohun èlò tí ó ní agbára mágnẹ́ẹ̀tì gíga bá jẹ́ èyí tí a fi ṣe àfojúsùn ìfọ́nká náà, àwọn ìlà pápá mágnẹ́ẹ̀tì yóò kọjá tààrà àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Agbára ìfọ́nká kúkúrú máa ń wáyé nínú àfojúsùn náà, èyí tí ó máa ń mú kí ìfọ́nká náà ṣòro. Láti lè ṣe àfojúsùn mágnẹ́ẹ̀tì ààyè, a ti ṣe onírúurú ìwádìí, fún àpẹẹrẹ, fífi pápá mágnẹ́ẹ̀tì kún inú àfojúsùn náà, tí ó fi ọ̀pọ̀lọpọ̀ àlàfo sílẹ̀ lórí àfojúsùn náà láti gbé e ga láti mú kí mágnẹ́ẹ̀tì jíjó pọ̀ sí i láti mú kí iwọ̀n otútù ibi àfojúsùn náà pọ̀ sí i, tàbí láti dín agbára mágnẹ́ẹ̀tì ibi àfojúsùn náà kù.
– A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹsàn-08-2023