នៅក្នុងអត្ថបទមុន យើងបាននិយាយអំពីលក្ខណៈនៃថ្នាំកូត sputtering ហើយអត្ថបទនេះនឹងបន្តពន្យល់អំពីលក្ខណៈនៃថ្នាំកូត sputtering។
(4) សីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមទាប។ អត្រានៃការបាញ់ស្ព្រាតគឺខ្ពស់ ពីព្រោះកំហាប់អេឡិចត្រុងខ្ពស់នៅក្នុងតំបន់ដែនម៉ាញេទិកនៃគោលដៅកាតូត ពោលគឺនៅក្នុងតំបន់តូចមួយនៅលើផ្លូវចេញគោលដៅ និងនៅខាងក្រៅតំបន់សកម្មភាពម៉ាញេទិក ជាពិសេសនៅជិតផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមឆ្ងាយពីដែនម៉ាញេទិក កំហាប់អេឡិចត្រុងគឺទាបជាងច្រើនដោយសារតែភាពខុសគ្នា ហើយអាចទាបជាងការបាញ់ស្ព្រាតគោលពីរ (ដោយសារតែសម្ពាធឧស្ម័នប្រតិបត្តិការរបស់ទាំងពីរគឺខុសគ្នាលំដាប់រ៉ិចទ័រ)។ ដូច្នេះ ក្រោមលក្ខខណ្ឌនៃការបាញ់ស្ព្រាត កំហាប់អេឡិចត្រុងនៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមដែលត្រូវបានទម្លាក់គ្រាប់បែកគឺទាបជាងការបាញ់ស្ព្រាតបន្ទាប់បន្សំធម្មតា ហើយការកើនឡើងហួសប្រមាណនៃសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានជៀសវាង ដោយសារតែការថយចុះចំនួនអេឡិចត្រុងនៅក្នុងស្រទាប់ខាងក្រោមដែលកើតឡើង។ លើសពីនេះ នៅក្នុងវិធីសាស្ត្រស្ព្រាតធឺរីង អាណូតនៃឧបករណ៍ស្ព្រាតធឺរីងអាចមានទីតាំងនៅជុំវិញកាតូត ហើយស៊ុមស្រទាប់ខាងក្រោមក៏អាចមានសក្តានុពលព្យួរផងដែរ ដូច្នេះអេឡិចត្រុងអាចហូរចេញតាមរយៈអាណូតដោយមិនឆ្លងកាត់ស៊ុមស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានដី ដោយហេតុនេះកាត់បន្ថយអេឡិចត្រុងថាមពលខ្ពស់ដែលបាញ់ទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដែលស្រោបដោយបន្ទះ កាត់បន្ថយការកើនឡើងនៃកំដៅស្រទាប់ខាងក្រោមដែលបណ្តាលមកពីការកើតឡើងនៃអេឡិចត្រុង និងកាត់បន្ថយកំដៅដែលបណ្តាលមកពីការបាញ់ទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដោយអេឡិចត្រុងបន្ទាប់បន្សំយ៉ាងខ្លាំង។
(5) ការឆ្លាក់មិនស្មើគ្នានៃគោលដៅ។ នៅក្នុងគោលដៅបាញ់ថ្នាំបែបប្រពៃណី ដែនម៉ាញេទិកមិនស្មើគ្នាត្រូវបានប្រើ ដូច្នេះប្លាស្មានឹងបង្កើតឥទ្ធិពលបញ្ចូលគ្នាក្នុងតំបន់ ដែលនឹងធ្វើឱ្យអត្រាឆ្លាក់ការបាញ់ថ្នាំនៃទីតាំងក្នុងស្រុកលើគោលដៅមានទំហំធំខ្លាំង ហើយលទ្ធផលនឹងជាការឆ្លាក់មិនស្មើគ្នាយ៉ាងសំខាន់លើគោលដៅ។ អត្រាប្រើប្រាស់សម្ភារៈគោលដៅជាទូទៅគឺប្រហែល 30%។ ដើម្បីកែលម្អអត្រាប្រើប្រាស់សម្ភារៈគោលដៅ វិធានការកែលម្អផ្សេងៗអាចត្រូវបានអនុវត្ត ដូចជាការកែលម្អរូបរាង និងការចែកចាយនៃដែនម៉ាញេទិកគោលដៅ ដើម្បីឱ្យមេដែកផ្លាស់ទីនៅខាងក្នុងកាតូតគោលដៅ។
(6) ការបាញ់ថ្នាំគោលដៅសម្ភារៈម៉ាញេទិកគឺពិបាក។ ប្រសិនបើគោលដៅបាញ់ថ្នាំត្រូវបានផលិតពីសម្ភារៈដែលមានភាពជ្រាបចូលម៉ាញេទិកខ្ពស់ ខ្សែដែនម៉ាញេទិកនឹងឆ្លងកាត់ដោយផ្ទាល់ជាដើម។ សៀគ្វីខ្លីម៉ាញេទិកកើតឡើងនៅខាងក្នុងគោលដៅ ដែលធ្វើឱ្យការបញ្ចេញមានការលំបាក។ ដើម្បីបង្កើតដែនម៉ាញេទិកលំហ ការសិក្សាផ្សេងៗត្រូវបានអនុវត្ត ឧទាហរណ៍ ការធ្វើឱ្យដែនម៉ាញេទិកនៅខាងក្នុងគោលដៅឆ្អែត ដោយទុកចន្លោះជាច្រើននៅលើគោលដៅ ដើម្បីជំរុញវាឱ្យបង្កើតម៉ាញេទិកលេចធ្លាយកាន់តែច្រើន ដើម្បីបង្កើនសីតុណ្ហភាពនៃគោលដៅ ឬកាត់បន្ថយភាពជ្រាបចូលម៉ាញេទិកនៃគោលដៅ។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ខែកញ្ញា-០៨-២០២៣