Vaega o le ufiufi o le magnetron sputtering mataupu 2

I le tusiga muamua, na tatou talanoa ai e uiga i uiga o ufiufi sputtering, ma o lenei tusiga o le a faaauau pea ona faamatala ai uiga o ufiufi sputtering.

(4) E maualalo le vevela o le substrate. E maualuga le fua faatatau o le sputtering ona o le maualuga o le faʻaputuga o electrons i totonu o le vaega o le magnetic field o le cathode target, o lona uiga, i se vaega laʻititi i luga o le target discharge runway, ma i fafo atu o le vaega o le magnetic action, aemaise lava e lata ane i le substrate surface e mamao ese mai le magnetic field, e matua maualalo le faʻaputuga o electrons ona o le divergence, ma e ono maualalo ifo foi nai lo le binary sputtering (ona o le mamafa o le kesi o le lua e matua eseese lava). O le mea lea, i lalo o tulaga o le sputtering, o le faʻaputuga o electrons i luga o le fogaeleele o le substrate ua pomuina e matua maualalo ifo nai lo le sputtering masani lona lua, ma o le tele o le faʻateleina o le vevela o le substrate e ʻalofia ona o le faʻaitiitia o le aofaʻi o electrons i le substrate e ulufale mai. E le gata i lea, i le metotia o le sputtering, e mafai ona tuʻu le anode o le masini sputtering i tafatafa o le cathode, ma e mafai foʻi ona i ai le faʻavaa o le substrate i se tulaga faʻatapulaʻaina, ina ia mafai ai e eletise ona tafe ese atu i totonu o le anode e aunoa ma le ui atu i le faʻavaa o le substrate ua faʻavaeina, ma faʻaitiitia ai eletise malolosi e osofaʻia le substrate ua ufiufi, faʻaitiitia ai le faʻateleina o le vevela o le substrate e mafua mai i le osofaʻiga o le eletise, ma faʻaitiitia tele ai le vevela e mafua mai i le osofaʻiga lona lua o le eletise o le substrate.

(5) O le fa'a'ofuina lē tutusa o le sini. I le sini masani o le sputtering, e fa'aaogaina ai se fanua maneta e lē tutusa, o lea o le a maua ai e le plasma se aafiaga o le fa'atasiga i le lotoifale, lea o le a matuā tele ai le fua faatatau o le sputtering etching o le tulaga i le lotoifale i luga o le sini, ma o le i'uga o le a matuā lē tutusa ai le fa'a'ofuina i luga o le sini. O le fua faatatau o le fa'aaogaina o meafaitino o le sini e masani lava e tusa ma le 30%. Ina ia fa'aleleia atili le fua faatatau o le fa'aaogaina o meafaitino o le sini, e mafai ona faia ni auala fa'aleleia eseese, e pei o le fa'aleleia atili o le foliga ma le tufatufaina o le fanua maneta o le sini, ina ia mafai ai e le maneta ona gaoioi i totonu o le cathode o le sini.

(6) E faigata ona fa'asu'i le fa'amaneta i le fa'amoemoe. Afai o le fa'amoemoe e faia i se mea e maualuga le fa'asu'i o le maneta, o le a pasia sa'o laina o le fanua maneta ma fa'apena fo'i. E tupu se ta'amilosaga pu'upu'u fa'amaneta i totonu o le fa'amoemoe, ma faigata ai ona fa'asa'olotoina. Ina ia fa'atupuina se fanua maneta fa'ale-mafaufau, ua faia su'esu'ega eseese, mo se fa'ata'ita'iga, o le fa'atumuina o le fanua maneta i totonu o le fa'amoemoe, ma tu'u ai le tele o avanoa i luga o le fa'amoemoe e fa'alauiloa ai le fa'atupuina o le tele o le fa'asu'i o le maneta e fa'ateleina ai le vevela o le fa'amoemoe, pe fa'aitiitia ai le fa'asu'i o le maneta o le fa'amoemoe.

– O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua