W poprzednim artykule omówiliśmy właściwości powłok napylanych. W tym artykule kontynuujemy wyjaśnianie właściwości powłok napylanych.
(4) Temperatura podłoża jest niska. Szybkość rozpylania jest wysoka, ponieważ koncentracja elektronów jest wysoka w obszarze pola magnetycznego tarczy katodowej, tj. w niewielkim obszarze na pasie wyładowania tarczy, a poza obszarem działania magnetycznego, zwłaszcza w pobliżu powierzchni podłoża z dala od pola magnetycznego, koncentracja elektronów jest znacznie niższa ze względu na dywergencję i może być nawet niższa niż w przypadku rozpylania binarnego (ponieważ ciśnienie gazu roboczego w obu przypadkach różni się o rząd wielkości). Dlatego w warunkach rozpylania koncentracja elektronów na powierzchni bombardowanego podłoża jest znacznie niższa niż w przypadku zwykłego rozpylania wtórnego, a nadmierny wzrost temperatury podłoża jest eliminowany dzięki zmniejszeniu liczby elektronów w padającym podłożu. Ponadto w metodzie rozpylania anoda urządzenia rozpylającego może być umieszczona wokół katody, a rama podłoża może również znajdować się pod potencjałem zawieszonym, tak aby elektrony mogły przepływać przez anodę, nie przechodząc przez uziemioną ramę podłoża, co zmniejsza ilość elektronów o wysokiej energii bombardujących platerowane podłoże, zmniejsza wzrost ciepła podłoża spowodowany padaniem elektronów i znacznie zmniejsza ciepło wytwarzane przez wtórne bombardowanie podłoża elektronami.
(5) Nierównomierne trawienie tarczy. W tradycyjnym celu rozpylania stosuje się niejednorodne pole magnetyczne, więc plazma wywołuje efekt lokalnej konwergencji, co powoduje, że szybkość trawienia rozpylaniem w lokalnym położeniu tarczy jest ekstremalnie duża, a rezultatem jest znacząco nierównomierne trawienie tarczy. Stopień wykorzystania materiałów tarczy wynosi zazwyczaj około 30%. Aby poprawić stopień wykorzystania materiału tarczy, można podjąć różne działania, takie jak poprawa kształtu i rozkładu pola magnetycznego tarczy, tak aby magnes poruszał się wewnątrz katody tarczy.
(6) Rozpylanie materiału magnetycznego na tarczę jest trudne. Jeśli tarcza rozpylająca jest wykonana z materiału o wysokiej przenikalności magnetycznej, linie pola magnetycznego będą się przecinać bezpośrednio itd. Wewnątrz tarczy występuje zwarcie magnetyczne, co utrudnia wyładowanie. Aby wygenerować przestrzenne pole magnetyczne, przeprowadzono różne badania, na przykład nasycając pole magnetyczne wewnątrz tarczy, pozostawiając wiele szczelin w tarczy, co sprzyja generowaniu większego magnetyzmu rozproszenia, zwiększając temperaturę tarczy lub zmniejszając przenikalność magnetyczną tarczy.
– Niniejszy artykuł został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 08.09.2023