Vipengele vya mipako ya magnetron sputtering sura ya 2

Katika makala iliyopita, tulizungumzia sifa za mipako ya kunyunyizia, na makala haya yataendelea kuelezea sifa za mipako ya kunyunyizia.

(4) Halijoto ya substrate ni ya chini. Kiwango cha kunyunyizia cha kunyunyizia ni cha juu kwa sababu mkusanyiko wa elektroni uko juu ndani ya eneo la uwanja wa sumaku wa shabaha ya kathodi, yaani, katika eneo dogo la ndani kwenye njia ya kurukia inayolengwa, na nje ya eneo la kitendo cha sumaku, hasa karibu na uso wa substrate mbali na uwanja wa sumaku, mkusanyiko wa elektroni ni wa chini sana kutokana na tofauti, na unaweza hata kuwa chini kuliko ule wa kunyunyizia binary (kwa sababu shinikizo la gesi inayofanya kazi la hizo mbili ni tofauti kwa ukubwa). Kwa hivyo, chini ya hali ya kunyunyizia, mkusanyiko wa elektroni kwenye uso wa substrate iliyolipuliwa ni wa chini sana kuliko ule wa kunyunyizia kawaida kwa sekondari, na ongezeko kubwa la halijoto ya substrate huepukwa kutokana na kupungua kwa idadi ya elektroni kwenye substrate iliyotokea. Kwa kuongezea, katika mbinu ya kunyunyizia, anodi ya kifaa cha kunyunyizia inaweza kuwekwa karibu na kathodi, na fremu ya substrate inaweza pia kuwa na uwezo uliosimamishwa, ili elektroni ziweze kutiririka kupitia anodi bila kupita kwenye fremu ya substrate iliyotundikwa, na hivyo kupunguza elektroni zenye nishati nyingi zinazoshambulia substrate iliyopakwa, kupunguza ongezeko la joto la substrate linalosababishwa na matukio ya elektroni, na kupunguza sana joto linalosababishwa na kupuliziwa kwa elektroni kwa substrate.

(5) Kuchora kwa usawa kwa shabaha. Katika shabaha ya kitamaduni ya kuchora, uwanja wa sumaku usio na usawa hutumiwa, kwa hivyo plasma itatoa athari ya muunganiko wa ndani, ambayo itafanya kiwango cha kuchora kwa kuchora cha nafasi ya ndani kwenye shabaha kuwa kubwa sana, na matokeo yake yatakuwa kuchora kwa usawa kwa shabaha. Kiwango cha matumizi ya nyenzo zinazolengwa kwa ujumla ni takriban 30%. Ili kuboresha kiwango cha matumizi ya nyenzo zinazolengwa, hatua mbalimbali za uboreshaji zinaweza kuchukuliwa, kama vile kuboresha umbo na usambazaji wa uwanja wa sumaku unaolengwa, ili sumaku isonge ndani ya kathodi inayolengwa.

(6) Kunyunyizia lengwa kwa nyenzo za sumaku ni vigumu. Ikiwa lengwa la kunyunyizia limetengenezwa kwa nyenzo yenye upenyezaji mkubwa wa sumaku, mistari ya uwanja wa sumaku itapita moja kwa moja na kadhalika. Mzunguko mfupi wa sumaku hutokea ndani ya lengwa, na kufanya kutokwa kuwa vigumu. Ili kutoa uwanja wa sumaku wa anga, tafiti mbalimbali zimefanywa, kwa mfano, kujaza uwanja wa sumaku ndani ya lengwa, na kuacha mapengo mengi kwenye lengwa ili kuikuza ili kutoa sumaku zaidi ya uvujaji ili kuongeza halijoto ya lengwa, au kupunguza upenyezaji wa sumaku wa lengwa.

- Makala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua