Di gotara berê de, me li ser taybetmendiyên pêçanên sputtering axivî, û ev gotar dê berdewam bike bi şirovekirina taybetmendiyên pêçanên sputtering.
(4) Germahiya substratê nizm e. Rêjeya sputterkirinê ya sputterkirinê bilind e ji ber ku rêjeya elektronan di nav herêma qada magnetîkî ya hedefa katodê de zêde ye, ango, li deverek piçûk a herêmî li ser rêya derxistina hedefê, û li derveyî herêma çalakiya magnetîkî, nemaze nêzîkî rûyê substratê dûrî qada magnetîkî, rêjeya elektronan ji ber cudabûnê pir kêmtir e, û dibe ku ji ya sputterkirina dualî jî kêmtir be (ji ber ku zexta gaza xebitandinê ya herduyan rêzek mezinahî ji hev cuda ye). Ji ber vê yekê, di bin şert û mercên sputterkirinê de, rêjeya elektronan li ser rûyê substrata bombebarankirî ji ya sputterkirina duyemîn a asayî pir kêmtir e, û zêdebûna zêde ya germahiya substratê ji ber kêmbûna hejmara elektronan di substrata ketî de tê dûrxistin. Herwiha, di rêbaza sputterkirinê de, anoda cîhaza sputterkirinê dikare li dora katodê were bicihkirin, û çarçoveya substratê jî dikare di potansiyeleke daliqandî de be, da ku elektron bêyî ku di çarçoveya substrata erdî re derbas bibin, ji anodê dûr bikevin, bi vî awayî elektronên enerjiya bilind ên ku substrata pêçayî bombebaran dikin kêm dibin, zêdebûna germahiya substratê ya ji ber bûyera elektronan kêm dibe, û germahiya ji ber bombebarana elektronên duyemîn a substratê pir kêm dibe.
(5) Gravkirina neyeksan a hedefê. Di hedefa sputterkirinê ya kevneşopî de, zeviyek magnetîkî ya nehomojen tê bikar anîn, ji ber vê yekê plazma dê bandorek konverjansa herêmî çêbike, ku dê rêjeya gravkirina sputterkirinê ya pozîsyona herêmî li ser hedefê pir mezin bike, û encam dê gravkirina neyeksan a girîng li ser hedefê be. Rêjeya karanîna materyalên hedef bi gelemperî nêzîkî 30% e. Ji bo baştirkirina rêjeya karanîna materyalê hedef, tedbîrên başkirinê yên cûrbecûr dikarin werin girtin, wekî baştirkirina şekil û belavkirina zeviya magnetîkî ya hedefê, da ku magnet di hundurê katoda hedefê de biçe.
(6) Perçiqandina hedefa materyalên magnetîkî dijwar e. Ger hedefa perçiqandinê ji materyalek bi permeabilîteya magnetîkî ya bilind hatibe çêkirin, xetên zeviya magnetîkî dê rasterast derbas bibin û hwd. Kurteçûnek magnetîkî di hundurê hedefê de çêdibe, ku derxistinê dijwar dike. Ji bo çêkirina zeviyek magnetîkî ya fezayî, gelek lêkolîn hatine kirin, mînakî, têrkirina zeviya magnetîkî ya di hundurê hedefê de, hiştina gelek valahiyan li ser hedefê da ku wê pêşve bibe da ku magnetîzma rijandinê bêtir çêbike da ku germahiya hedefê zêde bike, an jî permeabilîteya magnetîkî ya hedefê kêm bike.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: Îlon-08-2023