U prethodnom članku smo govorili o karakteristikama premaza za raspršivanje, a ovaj članak će nastaviti objašnjavati karakteristike premaza za raspršivanje.
(4) Temperatura supstrata je niska. Brzina raspršivanja je visoka jer je koncentracija elektrona visoka unutar područja magnetskog polja katodne mete, odnosno u malom lokalnom području na stazi za pražnjenje mete, a izvan područja magnetskog djelovanja, posebno blizu površine supstrata daleko od magnetskog polja, koncentracija elektrona je mnogo niža zbog divergencije, a može biti čak i niža nego kod binarnog raspršivanja (jer je radni pritisak gasa kod ova dva postupka različit za red veličine). Stoga je, pod uslovima raspršivanja, koncentracija elektrona na površini bombardovanog supstrata mnogo niža nego kod običnog sekundarnog raspršivanja, a prekomjerno povećanje temperature supstrata se izbjegava zbog smanjenja broja elektrona u upadnom supstratu. Osim toga, kod metode raspršivanja, anoda uređaja za raspršivanje može biti smještena oko katode, a okvir supstrata također može biti na suspendiranom potencijalu, tako da elektroni mogu teći kroz anodu bez prolaska kroz uzemljeni okvir supstrata, čime se smanjuju elektroni visoke energije koji bombardiraju pozlaćeni supstrat, smanjuje se povećanje topline supstrata uzrokovano upadom elektrona i znatno se smanjuje toplina uzrokovana sekundarnim bombardiranjem supstrata elektronima.
(5) Neravnomjerno nagrizanje mete. Kod tradicionalne mete za raspršivanje koristi se nehomogeno magnetsko polje, tako da plazma proizvodi lokalni konvergencijski efekat, što će učiniti brzinu raspršivanja nagrizanja lokalnog položaja na meti izuzetno velikom, a rezultat će biti značajno neravnomjerno nagrizanje na meti. Stopa iskorištenja materijala mete je uglavnom oko 30%. Kako bi se poboljšala stopa iskorištenja materijala mete, mogu se poduzeti različite mjere poboljšanja, kao što je poboljšanje oblika i distribucije magnetskog polja mete, tako da se magnet kreće unutar katode mete.
(6) Raspršivanje mete od magnetskog materijala je teško. Ako je meta za raspršivanje napravljena od materijala sa visokom magnetskom permeabilnošću, linije magnetskog polja će direktno prolaziti i tako dalje. Unutar mete dolazi do magnetskog kratkog spoja, što otežava pražnjenje. Kako bi se generiralo prostorno magnetsko polje, provedene su razne studije, na primjer, zasićenje magnetskog polja unutar mete, ostavljanje mnogih praznina na meti kako bi se potaknulo generiranje većeg magnetizma curenja, što bi povećalo temperaturu mete ili smanjilo magnetsku permeabilnost mete.
– Ovaj članak objavljujeproizvođač mašina za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 08.09.2023.