Dina tulisan sateuacana, urang parantos ngabahas ngeunaan ciri-ciri palapis sputtering, sareng tulisan ieu bakal teras ngajelaskeun ciri-ciri palapis sputtering.
(4) Suhu substratna handap. Laju sputtering sputtering luhur sabab konsentrasi éléktron luhur dina daérah médan magnét target katoda, nyaéta, di daérah lokal leutik dina landasan pacu debit target, sareng di luar daérah aksi magnét, khususna caket permukaan substrat anu jauh tina médan magnét, konsentrasi éléktron jauh langkung handap kusabab divergénsi, sareng bahkan tiasa langkung handap tibatan sputtering binér (sabab tekanan gas operasi duanana béda pisan). Ku alatan éta, dina kaayaan sputtering, konsentrasi éléktron dina permukaan substrat anu dibombardir jauh langkung handap tibatan sputtering sekundér biasa, sareng paningkatan suhu substrat anu kaleuleuwihi dihindari kusabab panurunan jumlah éléktron dina substrat anu datang. Salian ti éta, dina metode sputtering, anoda alat sputtering tiasa ditempatkeun di sakitar katoda, sareng pigura substrat ogé tiasa aya dina poténsial anu ditunda, supados éléktron tiasa ngalir ngaliwatan anoda tanpa ngaliwat pigura substrat anu di-ground, sahingga ngirangan éléktron énergi tinggi anu ngabombardir substrat anu dilapis, ngirangan paningkatan panas substrat anu disababkeun ku insidensi éléktron, sareng ngirangan pisan panas anu disababkeun ku pembombardir éléktron sekundér substrat.
(5) Étsa target anu teu rata. Dina target sputtering tradisional, medan magnét anu teu homogen dianggo, janten plasma bakal ngahasilkeun éfék konvergénsi lokal, anu bakal ngajantenkeun laju étsa sputtering tina posisi lokal dina target ageung pisan, sareng hasilna bakal janten étsa anu teu rata anu signifikan dina target. Laju panggunaan bahan target umumna sakitar 30%. Pikeun ningkatkeun laju panggunaan bahan target, rupa-rupa ukuran perbaikan tiasa dilaksanakeun, sapertos ningkatkeun bentuk sareng distribusi medan magnét target, supados magnet bergerak di jero katoda target.
(6) Nyemburkeun target bahan magnét téh hésé. Upami target nyembur dijieun tina bahan anu mibanda perméabilitas magnét anu luhur, garis médan magnét bakal langsung ngaliwat sareng saterasna. Sirkuit pondok magnét lumangsung di jero target, anu ngajantenkeun debit hésé. Pikeun ngahasilkeun médan magnét spasial, rupa-rupa panilitian parantos dilaksanakeun, contona, ngajenuhkeun médan magnét di jero target, nyésakeun seueur celah dina target pikeun ngamajukeun éta ngahasilkeun langkung seueur magnét bocor pikeun ningkatkeun suhu target, atanapi ngirangan perméabilitas magnét target.
– Artikel ieu dipedalkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktos posting: 08-Sep-2023