Dalam artikel sebelumnya, kita telah membincangkan tentang ciri-ciri salutan percikan, dan artikel ini akan terus menerangkan ciri-ciri salutan percikan.
(4) Suhu substrat adalah rendah. Kadar percikan percikan adalah tinggi kerana kepekatan elektron adalah tinggi di dalam kawasan medan magnet sasaran katod, iaitu, di kawasan setempat yang kecil di landasan pelepasan sasaran, dan di luar kawasan tindakan magnet, terutamanya berhampiran permukaan substrat yang jauh dari medan magnet, kepekatan elektron jauh lebih rendah disebabkan oleh perbezaan, dan mungkin lebih rendah daripada percikan binari (kerana tekanan gas operasi kedua-duanya adalah berbeza mengikut magnitud). Oleh itu, di bawah keadaan percikan, kepekatan elektron pada permukaan substrat yang dibombardir adalah jauh lebih rendah daripada percikan sekunder biasa, dan peningkatan suhu substrat yang berlebihan dapat dielakkan kerana penurunan bilangan elektron dalam substrat yang datang. Di samping itu, dalam kaedah sputtering, anod peranti sputtering boleh diletakkan di sekitar katod, dan rangka substrat juga boleh berada pada potensi terampai, supaya elektron boleh mengalir keluar melalui anod tanpa melalui rangka substrat yang dibumikan, sekali gus mengurangkan elektron bertenaga tinggi yang membedil substrat bersalut, mengurangkan peningkatan haba substrat yang disebabkan oleh kejadian elektron, dan mengurangkan haba yang disebabkan oleh pengeboman elektron sekunder substrat dengan ketara.
(5) Pengukiran sasaran yang tidak sekata. Dalam sasaran percikan tradisional, medan magnet yang tidak homogen digunakan, jadi plasma akan menghasilkan kesan penumpuan setempat, yang akan menjadikan kadar pengukiran kedudukan setempat pada sasaran sangat besar, dan hasilnya akan menjadi pengukiran yang tidak sekata yang ketara pada sasaran. Kadar penggunaan bahan sasaran secara amnya kira-kira 30%. Untuk meningkatkan kadar penggunaan bahan sasaran, pelbagai langkah penambahbaikan boleh diambil, seperti meningkatkan bentuk dan taburan medan magnet sasaran, supaya magnet bergerak di dalam katod sasaran.
(6) Percikan sasaran bahan magnet adalah sukar. Jika sasaran percikan diperbuat daripada bahan yang mempunyai kebolehtelapan magnet yang tinggi, garisan medan magnet akan melaluinya secara langsung dan sebagainya. Litar pintas magnet berlaku di dalam sasaran, menjadikan nyahcas sukar. Untuk menghasilkan medan magnet ruang, pelbagai kajian telah dijalankan, contohnya, menepu medan magnet di dalam sasaran, meninggalkan banyak jurang pada sasaran untuk menggalakkannya menghasilkan lebih banyak kemagnetan kebocoran untuk meningkatkan suhu sasaran, atau mengurangkan kebolehtelapan magnet sasaran.
– Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: 8-Sep-2023