Avvalgi maqolada biz purkash qoplamalarining xususiyatlari haqida gaplashdik va ushbu maqolada purkash qoplamalarining xususiyatlarini tushuntirishda davom etamiz.
(4) Substrat harorati past. Chayqalish tezligi yuqori, chunki elektronlar konsentratsiyasi katod nishonining magnit maydon mintaqasida, ya'ni nishon tushirish uchish-qo'nish yo'lagidagi kichik mahalliy hududda va magnit ta'sir mintaqasidan tashqarida, ayniqsa magnit maydondan uzoqda joylashgan substrat yuzasiga yaqin joyda yuqori bo'ladi, elektron konsentratsiyasi divergentsiya tufayli ancha past bo'ladi va hatto ikkilik chayqalishdan ham pastroq bo'lishi mumkin (chunki ikkalasining ishchi gaz bosimi kattalik tartibida farq qiladi). Shuning uchun, chayqalish sharoitida bombardimon qilingan substrat yuzasidagi elektron konsentratsiyasi oddiy ikkilamchi chayqalishga qaraganda ancha past bo'ladi va tushgan substratdagi elektronlar sonining kamayishi tufayli substrat haroratining haddan tashqari ko'tarilishining oldini olinadi. Bundan tashqari, purkash usulida purkash moslamasining anodi katod atrofida joylashgan bo'lishi mumkin va substrat ramkasi ham to'xtatilgan potensialda bo'lishi mumkin, shunda elektronlar yerga ulangan substrat ramkasidan o'tmasdan anod orqali oqishi mumkin, shu bilan qoplangan substratni bombardimon qiladigan yuqori energiyali elektronlarni kamaytiradi, elektron tushishi natijasida substrat issiqligining oshishini kamaytiradi va substratni ikkilamchi elektron bombardimon qilish natijasida hosil bo'ladigan issiqlikni sezilarli darajada kamaytiradi.
(5) Nishonning notekis o'ymakorligi. An'anaviy purkash nishonida bir xil bo'lmagan magnit maydon ishlatiladi, shuning uchun plazma mahalliy konvergentsiya effektini hosil qiladi, bu esa nishondagi mahalliy pozitsiyaning purkash o'ymakorligi tezligini juda katta qiladi va natijada nishonda sezilarli darajada notekis o'ymakorlik bo'ladi. Nishon materiallardan foydalanish darajasi odatda taxminan 30% ni tashkil qiladi. Nishon materialdan foydalanish darajasini oshirish uchun turli xil takomillashtirish choralari ko'rilishi mumkin, masalan, maqsadli magnit maydonining shakli va tarqalishini yaxshilash, shunda magnit maqsadli katod ichida harakatlanadi.
(6) Magnit material nishonini purkash qiyin. Agar purkash nishoni yuqori magnit o'tkazuvchanlikka ega materialdan yasalgan bo'lsa, magnit maydon chiziqlari to'g'ridan-to'g'ri o'tadi va hokazo. Nishon ichida magnit qisqa tutashuvi yuzaga keladi, bu esa razryadni qiyinlashtiradi. Fazoviy magnit maydonni yaratish uchun turli tadqiqotlar o'tkazildi, masalan, nishon ichidagi magnit maydonni to'yintirish, nishonda ko'plab bo'shliqlar qoldirish, bu esa nishonning haroratini oshirish yoki nishonning magnit o'tkazuvchanligini pasaytirish uchun ko'proq oqish magnitlanishini yaratishga yordam beradi.
– Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Joylashtirilgan vaqt: 2023-yil 8-sentabr