V predchádzajúcom článku sme hovorili o vlastnostiach naprašovacích povlakov a tento článok bude naďalej vysvetľovať vlastnosti naprašovacích povlakov.
(4) Teplota substrátu je nízka. Rýchlosť naprašovania je vysoká, pretože koncentrácia elektrónov je vysoká v oblasti magnetického poľa katódového terča, teda v malej lokálnej oblasti na dráhe výboja terča. Mimo oblasti magnetického pôsobenia, najmä v blízkosti povrchu substrátu ďaleko od magnetického poľa, je koncentrácia elektrónov v dôsledku divergencie oveľa nižšia a môže byť dokonca nižšia ako pri binárnom naprašovaní (pretože prevádzkový tlak plynu sa rádovo líši). Preto je za podmienok naprašovania koncentrácia elektrónov na povrchu bombardovaného substrátu oveľa nižšia ako pri bežnom sekundárnom naprašovaní a nadmernému zvýšeniu teploty substrátu sa zabráni vďaka zníženiu počtu elektrónov v dopadajúcom substráte. Okrem toho, pri metóde naprašovania môže byť anóda naprašovacieho zariadenia umiestnená okolo katódy a rám substrátu môže byť tiež na suspendovanom potenciáli, takže elektróny môžu prúdiť cez anódu bez toho, aby prešli cez uzemnený rám substrátu, čím sa znižuje počet elektrónov s vysokou energiou, ktoré bombardujú pokovovaný substrát, znižuje sa zvýšenie tepla substrátu spôsobené dopadom elektrónov a výrazne sa znižuje teplo spôsobené sekundárnym bombardovaním substrátu elektrónmi.
(5) Nerovnomerné leptanie terča. Pri tradičnom naprašovacom terči sa používa nehomogénne magnetické pole, takže plazma vytvára lokálny konvergenčný efekt, čo spôsobí extrémne vysokú rýchlosť naprašovania a leptania lokálnej polohy na terči, čoho výsledkom bude výrazné nerovnomerné leptanie na terči. Miera využitia materiálov terča je vo všeobecnosti okolo 30 %. Na zlepšenie miery využitia materiálu terča je možné prijať rôzne opatrenia na zlepšenie, ako napríklad zlepšenie tvaru a rozloženia magnetického poľa terča tak, aby sa magnet pohyboval vo vnútri katódy terča.
(6) Naprašovanie magnetického materiálu na terč je náročné. Ak je naprašovací terč vyrobený z materiálu s vysokou magnetickou permeabilitou, čiary magnetického poľa budú prechádzať priamo cez terč a podobne. Vo vnútri terča dochádza k magnetickému skratu, čo sťažuje výboj. Na vytvorenie priestorového magnetického poľa sa vykonali rôzne štúdie, napríklad saturácia magnetického poľa vo vnútri terča, ponechanie mnohých medzier na terči, aby sa podporilo generovanie väčšieho rozptylu magnetizmu, čím sa zvýši teplota terča alebo sa zníži magnetická permeabilita terča.
– Tento článok vydávavýrobca vákuových lakovacích strojovGuangdong Zhenhua
Čas uverejnenia: 8. septembra 2023