Anns an artaigil roimhe, bhruidhinn sinn mu fheartan chòtaichean sputtering, agus cumaidh an artaigil seo air adhart a’ mìneachadh feartan chòtaichean sputtering.
(4) Tha teòthachd an t-substrate ìosal. Tha an ìre spùtaidh aig spùtadh àrd leis gu bheil dùmhlachd nan dealanan àrd taobh a-staigh raon achaidh magnetach targaid a’ chatod, is e sin, ann an sgìre bheag ionadail air raon-laighe sgaoilidh an targaid, agus taobh a-muigh na sgìre gnìomh magnetach, gu sònraichte faisg air uachdar an t-substrate fada bhon raon magnetach, tha dùmhlachd nan dealanan mòran nas ìsle air sgàth eadar-dhealachaidh, agus is dòcha gu bheil e eadhon nas ìsle na dùmhlachd spùtadh dà-thaobhach (leis gu bheil cuideam gas obrachaidh an dà chuid òrdugh meudachd eadar-dhealaichte). Mar sin, fo chumhachan spùtaidh, tha dùmhlachd nan dealanan air uachdar an t-substrate air a bhomadh mòran nas ìsle na tha e ann an spùtadh àrd-sgoile àbhaisteach, agus tha an àrdachadh ro mhòr ann an teòthachd an t-substrate air a sheachnadh air sgàth an lùghdachadh ann an àireamh nan dealanan anns an t-substrate a tha a’ tighinn a-steach. A bharrachd air an sin, anns an dòigh sputtering, faodar anod an inneil sputtering a shuidheachadh timcheall air a’ chatod, agus faodar frèam an t-substrate a bhith aig comas crochte cuideachd, gus am faod dealanan sruthadh air falbh tron anod gun a dhol tron fhrèam substrate talmhaichte, agus mar sin a’ lughdachadh nan dealanan àrd-lùtha a bhios a’ bomadh an t-substrate plataichte, a’ lughdachadh an àrdachadh ann an teas an t-substrate air adhbhrachadh le buaidh dealanach, agus a’ lughdachadh gu mòr an teas air adhbhrachadh le bomadh dealanach àrd-sgoile an t-substrate.
(5) Greanadh neo-chothromach na targaid. Anns an targaid sputtering traidiseanta, thathar a’ cleachdadh raon magnetach neo-aonghnèitheach, agus mar sin bidh am plasma a’ toirt a-mach buaidh co-chruinneachaidh ionadail, a nì ìre greanadh sputtering an t-suidheachaidh ionadail air an targaid gu math mòr, agus mar thoradh air sin bidh greanadh neo-chothromach mòr air an targaid. Mar as trice, tha ìre cleachdaidh stuthan targaid mu 30%. Gus ìre cleachdaidh an stuth targaid a leasachadh, faodar diofar cheumannan leasachaidh a ghabhail, leithid cumadh agus sgaoileadh raon magnetach na targaid a leasachadh, gus am bi am magnet a’ gluasad taobh a-staigh catod na targaid.
(6) Tha spùtadh targaid stuth magnetach duilich. Ma tha an targaid spùtadh air a dhèanamh de stuth le treòiteachd magnetach àrd, thèid loidhnichean achaidh magnetach seachad gu dìreach agus mar sin air adhart. Bidh cuairt ghoirid magnetach a’ tachairt taobh a-staigh an targaid, ga dhèanamh duilich sgaoileadh. Gus raon magnetach fànais a chruthachadh, chaidh diofar sgrùdaidhean a dhèanamh, mar eisimpleir, a’ sàthadh an achaidh magnetach taobh a-staigh an targaid, a’ fàgail mòran bheàrnan air an targaid gus a bhrosnachadh gus barrachd magnetachd aodion a chruthachadh gus teòthachd an targaid àrdachadh, no treòiteachd magnetach an targaid a lughdachadh.
– Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: Sultain-08-2023