Mu nkhani yapitayi, tinakambirana za makhalidwe a zophimba zothira madzi, ndipo nkhaniyi ipitiliza kufotokoza makhalidwe a zophimba zothira madzi.
(4) Kutentha kwa substrate ndi kochepa. Kuchuluka kwa ma sputtering a ma sputtering ndi kwakukulu chifukwa kuchuluka kwa ma electron kuli kwakukulu mkati mwa dera la maginito la cathode target, kutanthauza, m'dera laling'ono lapafupi ndi msewu wotulutsira ma target, komanso kunja kwa dera la maginito, makamaka pafupi ndi pamwamba pa substrate kutali ndi mphamvu ya maginito, kuchuluka kwa ma electron kumakhala kochepa kwambiri chifukwa cha kusiyana, ndipo kungakhale kotsika kuposa kwa binary sputtering (chifukwa kuthamanga kwa mpweya wogwirira ntchito kwa awiriwa ndi kosiyana kwambiri). Chifukwa chake, pansi pa mikhalidwe ya ma sputtering, kuchuluka kwa ma electron pamwamba pa substrate yophulika ndi kotsika kwambiri kuposa kwa ma sputtering wamba wachiwiri, ndipo kuwonjezeka kwakukulu kwa kutentha kwa substrate kumapewedwa chifukwa cha kuchepa kwa chiwerengero cha ma electron mu substrate yochitika. Kuphatikiza apo, mu njira yothira madzi, anode ya chipangizo chothira madzi ikhoza kukhala mozungulira cathode, ndipo chimango cha substrate chingakhalenso ndi mphamvu yoyimitsidwa, kotero kuti ma elekitironi amatha kuyenda kudzera mu anode popanda kudutsa mu chimango cha substrate chokhazikika, potero amachepetsa ma elekitironi amphamvu kwambiri omwe amathira madzi ophimbidwa ndi substrate, kuchepetsa kuwonjezeka kwa kutentha kwa substrate komwe kumachitika chifukwa cha kuchuluka kwa ma elekitironi, ndikuchepetsa kwambiri kutentha komwe kumachitika chifukwa cha kuphulika kwa ma elekitironi kwa substrate.
(5) Kudula kosagwirizana kwa cholinga. Mu cholinga chachikhalidwe chodula, mphamvu ya maginito yosagwirizana imagwiritsidwa ntchito, kotero plasma imapanga mphamvu yolumikizana yapafupi, zomwe zimapangitsa kuti kuchuluka kwa malo odula pa cholingacho kukhale kwakukulu kwambiri, ndipo zotsatira zake zidzakhala kusiyana kwakukulu kwa kudula pa cholingacho. Kuchuluka kwa kugwiritsa ntchito zipangizo zomwe zikufunidwa nthawi zambiri kumakhala pafupifupi 30%. Pofuna kukweza kuchuluka kwa kugwiritsa ntchito zinthu zomwe zikufunidwa, njira zosiyanasiyana zowongolera zitha kuchitidwa, monga kukonza mawonekedwe ndi kufalikira kwa mphamvu ya maginito yomwe ikufunidwa, kuti maginito ayende mkati mwa cathode yomwe ikufunidwa.
(6) Kutulutsa mphamvu ya maginito pogwiritsa ntchito zinthu zamaginito n'kovuta. Ngati cholinga chotulutsa mphamvu ya maginito chapangidwa ndi chinthu chokhala ndi mphamvu ya maginito yambiri, mizere ya maginito imadutsa mwachindunji ndi zina zotero. Kuzungulira kwafupipafupi kwa maginito kumachitika mkati mwa chinthucho, zomwe zimapangitsa kuti kutulutsa mphamvu ya maginito kukhale kovuta. Pofuna kupanga mphamvu ya maginito ya malo, maphunziro osiyanasiyana achitika, mwachitsanzo, kukhutitsa mphamvu ya maginito mkati mwa chinthucho, kusiya mipata yambiri pa chinthucho kuti chilimbikitse kupanga mphamvu ya maginito yotuluka kuti iwonjezere kutentha kwa chinthucho, kapena kuchepetsa mphamvu ya maginito ya chinthucho.
- Nkhaniyi yatulutsidwa ndiwopanga makina ophikira vacuumGuangdong Zhenhua
Nthawi yotumizira: Sep-08-2023