În articolul precedent, am vorbit despre caracteristicile acoperirilor prin pulverizare catodică, iar acest articol va continua să explice caracteristicile acoperirilor prin pulverizare catodică.
(4) Temperatura substratului este scăzută. Rata de pulverizare catodică este mare deoarece concentrația de electroni este mare în regiunea câmpului magnetic al țintei catodice, adică într-o zonă locală mică pe pista de descărcare a țintei, iar în afara regiunii de acțiune magnetică, în special în apropierea suprafeței substratului, departe de câmpul magnetic, concentrația de electroni este mult mai mică din cauza divergenței și poate fi chiar mai mică decât cea a pulverizării binare (deoarece presiunea gazului de funcționare a celor două este diferită cu un ordin de mărime). Prin urmare, în condiții de pulverizare catodică, concentrația de electroni pe suprafața substratului bombardat este mult mai mică decât cea din pulverizarea secundară obișnuită, iar creșterea excesivă a temperaturii substratului este evitată datorită scăderii numărului de electroni din substratul incident. În plus, în metoda de pulverizare, anodul dispozitivului de pulverizare poate fi amplasat în jurul catodului, iar cadrul substratului poate fi, de asemenea, la un potențial suspendat, astfel încât electronii să poată curge prin anod fără a trece prin cadrul substratului împământat, reducând astfel electronii de înaltă energie care bombardează substratul placat, reducând creșterea căldurii substratului cauzată de incidența electronilor și reducând considerabil căldura cauzată de bombardamentul secundar cu electroni a substratului.
(5) Gravare inegală a țintei. În ținta tradițională de pulverizare catodică, se utilizează un câmp magnetic neomogen, astfel încât plasma va produce un efect de convergență locală, ceea ce va face ca rata de gravare prin pulverizare a poziției locale pe țintă să fie extrem de mare, iar rezultatul va fi o gravare inegală semnificativă pe țintă. Rata de utilizare a materialelor țintă este în general de aproximativ 30%. Pentru a îmbunătăți rata de utilizare a materialului țintă, se pot lua diverse măsuri de îmbunătățire, cum ar fi îmbunătățirea formei și distribuției câmpului magnetic țintă, astfel încât magnetul să se miște în interiorul catodului țintei.
(6) Pulverizarea țintei magnetice este dificilă. Dacă ținta de pulverizare este fabricată dintr-un material cu permeabilitate magnetică ridicată, liniile câmpului magnetic vor trece direct și așa mai departe. În interiorul țintei se produce un scurtcircuit magnetic, ceea ce îngreunează descărcarea. Pentru a genera un câmp magnetic spațial, au fost efectuate diverse studii, de exemplu, saturarea câmpului magnetic din interiorul țintei, lăsând numeroase goluri pe țintă pentru a o promova și a genera mai mult magnetism de scurgere pentru a crește temperatura țintei sau a reduce permeabilitatea magnetică a țintei.
– Acest articol este publicat deproducător de mașini de acoperire în vidGuangdong Zhenhua
Data publicării: 08 septembrie 2023