En la antaŭa artikolo, ni parolis pri la karakterizaĵoj de ŝprucantaj tegaĵoj, kaj ĉi tiu artikolo daŭre klarigos la karakterizaĵojn de ŝprucantaj tegaĵoj.
(4) La substrata temperaturo estas malalta. La ŝprucrapideco de ŝprucado estas alta ĉar la koncentriĝo de elektronoj estas alta ene de la magneta kampa regiono de la katoda celo, tio estas, en malgranda loka areo sur la cela elŝarga kurejo, kaj ekster la magneta agregiono, precipe proksime al la substrata surfaco malproksime de la magneta kampo, la elektrona koncentriĝo estas multe pli malalta pro diverĝo, kaj eĉ povas esti pli malalta ol tiu de duuma ŝprucado (ĉar la funkcianta gaspremo de la du estas ordo de grandordo malsama). Tial, sub ŝprucadkondiĉoj, la elektrona koncentriĝo sur la surfaco de la bombadita substrato estas multe pli malalta ol tiu en ordinara sekundara ŝprucado, kaj la troa pliiĝo de la substrata temperaturo estas evitata pro la malpliiĝo de la nombro de elektronoj en la incidenca substrato. Krome, en la ŝprucmetodo, la anodo de la ŝpruc-aparato povas esti lokita ĉirkaŭ la katodo, kaj la substrata kadro ankaŭ povas esti kaj je ŝveba potencialo, tiel ke elektronoj povas forflui tra la anodo sen pasi tra la terkonektita substrata kadro, tiel reduktante la alt-energiajn elektronojn, kiuj bombadas la tegitan substraton, reduktante la pliiĝon de substrata varmo kaŭzita de elektrona incidenco, kaj multe reduktante la varmon kaŭzitan de sekundara elektrona bombado de la substrato.
(5) Neegala gravurado de la celo. En la tradicia ŝpruc-celo, oni uzas nehomogenan magnetan kampon, do la plasmo produktos lokan konverĝan efikon, kiu igos la ŝpruc-gravuran rapidon de la loka pozicio sur la celo ekstreme granda, kaj la rezulto estos signife neegala gravurado sur la celo. La utiligofteco de la celaj materialoj estas ĝenerale ĉirkaŭ 30%. Por plibonigi la utiligoftecon de la cela materialo, oni povas preni diversajn plibonigajn mezurojn, kiel ekzemple plibonigi la formon kaj distribuon de la cela magneta kampo, tiel ke la magneto moviĝas ene de la cela katodo.
(6) Ŝprucado de magneta materialo estas malfacila. Se la ŝprucada celo estas farita el materialo kun alta magneta permeablo, magnetaj kampolinioj pasos rekte kaj tiel plu. Magneta kurta cirkvito okazas ene de la celo, malfaciligante malŝarĝon. Por generi spacan magnetan kampon, diversaj studoj estis faritaj, ekzemple, saturante la magnetan kampon ene de la celo, lasante multajn breĉojn sur la celo por antaŭenigi ĝin generi pli da elflua magnetismo por pliigi la temperaturon de la celo, aŭ redukti la magnetan permeablon de la celo.
– Ĉi tiu artikolo estas publikigita defabrikanto de vakuaj tegaĵmaŝinojGuangdong Zhenhua
Afiŝtempo: 8 septembro 2023