V prejšnjem članku smo govorili o značilnostih naprševalnih premazov, ta članek pa bo še naprej razlagal značilnosti naprševalnih premazov.
(4) Temperatura substrata je nizka. Hitrost razprševanja je visoka, ker je koncentracija elektronov v območju magnetnega polja katodne tarče, torej na majhnem lokalnem območju na izpustni stezi tarče, visoka. Zunaj območja magnetnega delovanja, zlasti blizu površine substrata, daleč od magnetnega polja, je koncentracija elektronov zaradi divergence precej nižja in je lahko celo nižja kot pri binarnem razprševanju (ker se delovni tlak plina pri obeh razlikuje za velikostni red). Zato je pri pogojih razprševanja koncentracija elektronov na površini bombardiranega substrata precej nižja kot pri običajnem sekundarnem razprševanju, prekomerno zvišanje temperature substrata pa se prepreči zaradi zmanjšanja števila elektronov v vpadnem substratu. Poleg tega se lahko pri metodi razprševanja anoda razpršilne naprave nahaja okoli katode, okvir substrata pa je lahko tudi pod suspendiranim potencialom, tako da lahko elektroni tečejo skozi anodo, ne da bi prešli skozi ozemljen okvir substrata, s čimer se zmanjšajo visokoenergijski elektroni, ki bombardirajo prevlečeni substrat, zmanjša se povečanje toplote substrata zaradi vpada elektronov in močno se zmanjša toplota, ki jo povzroča sekundarno bombardiranje substrata z elektroni.
(5) Neenakomerno jedkanje tarče. Pri tradicionalni tarči za razprševanje se uporablja nehomogeno magnetno polje, zato plazma povzroči lokalni konvergenčni učinek, zaradi česar bo hitrost razprševanja in jedkanja na lokalni lokaciji tarče izjemno velika, rezultat pa bo znatno neenakomerno jedkanje tarče. Stopnja izkoriščenosti materialov tarče je običajno približno 30 %. Za izboljšanje stopnje izkoriščenosti materiala tarče je mogoče sprejeti različne ukrepe za izboljšanje, kot je izboljšanje oblike in porazdelitve magnetnega polja tarče, tako da se magnet premika znotraj katode tarče.
(6) Razprševanje magnetnih materialov na tarčo je težavno. Če je tarča za razprševanje izdelana iz materiala z visoko magnetno prepustnostjo, bodo linije magnetnega polja potekale neposredno druga ob drugi in tako naprej. V notranjosti tarče pride do magnetnega kratkega stika, kar oteži razelektritev. Za ustvarjanje prostorskega magnetnega polja so bile izvedene različne študije, na primer nasičenje magnetnega polja znotraj tarče, pri čemer je na tarči ostalo veliko vrzeli, da bi se spodbudilo ustvarjanje večjega magnetizma puščanja, kar bi povečalo temperaturo tarče ali zmanjšalo magnetno prepustnost tarče.
– Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 8. september 2023