In articulo priori, de proprietatibus tunicarum pulverisationis disseruimus, et hic articulus proprietates tunicarum pulverisationis explicare perget.
(4) Temperatura substrati humilis est. Celeritas pulverisationis cathodicae alta est quia concentratio electronum alta est intra regionem campi magnetici scopi cathodici, id est, in parva area locali in via emissionis scopi, et extra regionem actionis magneticae, praesertim prope superficiem substrati longe a campo magnetico, concentratio electronum multo minor est propter divergentiam, et fortasse etiam minor quam in pulverisatione binaria (quia pressio gasis operandi utriusque magnitudinis ordine differt). Ergo, sub condicionibus pulverisationis cathodicae, concentratio electronum in superficie substrati bombardati multo minor est quam in pulverisatione secundaria ordinaria, et augmentum nimium temperaturae substrati vitatur propter diminutionem numeri electronum in substrato incidente. Praeterea, in methodo pulverisationis, anodus instrumenti pulverisationis circa cathodum collocari potest, et substrati structura etiam potest esse et in potentia suspensa, ut electrones per anodum fluere possint sine structura substrati terrestris transeundo, ita electrones altae energiae qui substratum obductum bombardant minuendo, augmentum caloris substrati causatum ab incidentia electronum minuendo, et calorem causatum ab bombardamento electronico secundario substrati magnopere reducendo.
(5) Inaequalis corrosio scopi. In scopo pulverisationis tradito, campus magneticus inhomogeneus adhibetur, ita plasma effectum convergentiae localis producet, qui ratem corrosionis pulverisationis positionis localis in scopo maximam reddet, et eventus erit corrosio inaequalis significantis in scopo. Ratio usus materiae scopi plerumque est circiter 30%. Ad ratam usus materiae scopi emendandam, variae mensurae emendationis adhiberi possunt, ut formam et distributionem campi magnetici scopi emendare, ita ut magnes intra cathodum scopi moveatur.
(6) Materia magnetica scopi per pulverizationem cathodicam difficilis est. Si scopum pulverizationis ex materia magna permeabilitate magnetica fabricatum est, lineae campi magnetici directe transibunt et cetera. Brevis circuitus magneticus intra scopum fit, quod emissionem difficilem reddit. Ad campum magneticum spatialem generandum, varia studia peracta sunt, exempli gratia, saturando campum magneticum intra scopum, multas rimas in scopo relinquendo ut promoveatur ad maiorem magnetismum effluxionis generandum ad temperaturam scopi augendam, vel permeabilitatem magneticam scopi minuendam.
– Hic articulus editus est abFabricator machinae ad obducendum vacuumGuangdong Zhenhua
Tempus publicationis: VIII Septembris, MMXXIII