পূর্ববর্তী নিবন্ধে আমরা স্পাটারিং কোটিং-এর বৈশিষ্ট্য নিয়ে আলোচনা করেছি এবং এই নিবন্ধে স্পাটারিং কোটিং-এর বৈশিষ্ট্যগুলো ব্যাখ্যা করা অব্যাহত থাকবে।
(4) সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা কম থাকে। স্পাটারিং-এর হার বেশি হয় কারণ ক্যাথোড টার্গেটের চৌম্বক ক্ষেত্র অঞ্চলের মধ্যে, অর্থাৎ টার্গেট ডিসচার্জ রানওয়ের একটি ছোট স্থানীয় এলাকায়, ইলেকট্রনের ঘনত্ব বেশি থাকে এবং চৌম্বকীয় ক্রিয়া অঞ্চলের বাইরে, বিশেষ করে চৌম্বক ক্ষেত্র থেকে দূরে সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠের কাছাকাছি, অপসরণের কারণে ইলেকট্রনের ঘনত্ব অনেক কম থাকে, এবং এমনকি বাইনারি স্পাটারিং-এর চেয়েও কম হতে পারে (কারণ উভয়ের অপারেটিং গ্যাসের চাপ এক মাত্রার পার্থক্য)। অতএব, স্পাটারিং পরিস্থিতিতে, বোমাবর্ষিত সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে ইলেকট্রনের ঘনত্ব সাধারণ সেকেন্ডারি স্পাটারিং-এর তুলনায় অনেক কম থাকে, এবং আপতিত সাবস্ট্রেটে ইলেকট্রনের সংখ্যা কমে যাওয়ার কারণে সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রার অত্যধিক বৃদ্ধি এড়ানো যায়। এছাড়াও, স্পাটারিং পদ্ধতিতে, স্পাটারিং ডিভাইসের অ্যানোডকে ক্যাথোডের চারপাশে স্থাপন করা যেতে পারে এবং সাবস্ট্রেট ফ্রেমটিকেও একটি সাসপেন্ডেড পটেনশিয়ালে রাখা যায়, যাতে ইলেকট্রনগুলো গ্রাউন্ডেড সাবস্ট্রেট ফ্রেমের মধ্য দিয়ে না গিয়ে সরাসরি অ্যানোডের মাধ্যমে প্রবাহিত হতে পারে। এর ফলে, প্লেটেড সাবস্ট্রেটে আঘাতকারী উচ্চ-শক্তির ইলেকট্রনের সংখ্যা কমে যায়, ইলেকট্রন আপতনের কারণে সাবস্ট্রেটের তাপ বৃদ্ধি হ্রাস পায় এবং সাবস্ট্রেটের উপর দ্বিতীয়বার ইলেকট্রন আঘাতের ফলে সৃষ্ট তাপও ব্যাপকভাবে কমে যায়।
(5) টার্গেটের অসম এচিং। প্রচলিত স্পাটারিং টার্গেটে, একটি অসম চৌম্বক ক্ষেত্র ব্যবহার করা হয়, ফলে প্লাজমা একটি স্থানীয় অভিসরণ প্রভাব তৈরি করে, যা টার্গেটের স্থানীয় অবস্থানের স্পাটারিং এচিং হারকে অত্যন্ত বাড়িয়ে দেয় এবং এর ফলে টার্গেটে উল্লেখযোগ্য অসম এচিং হয়। টার্গেট উপাদানের ব্যবহারের হার সাধারণত প্রায় 30%। টার্গেট উপাদানের ব্যবহারের হার উন্নত করার জন্য, বিভিন্ন উন্নতিমূলক ব্যবস্থা নেওয়া যেতে পারে, যেমন টার্গেটের চৌম্বক ক্ষেত্রের আকৃতি এবং বিতরণ উন্নত করা, যাতে চুম্বকটি টার্গেট ক্যাথোডের ভিতরে চলাচল করে।
(6) চৌম্বকীয় পদার্থের টার্গেট স্পাটারিং করা কঠিন। যদি স্পাটারিং টার্গেটটি উচ্চ চৌম্বক ভেদ্যতা সম্পন্ন পদার্থ দিয়ে তৈরি হয়, তাহলে চৌম্বক ক্ষেত্র রেখাগুলি সরাসরি চলে যাবে ইত্যাদি। টার্গেটের ভিতরে একটি চৌম্বকীয় শর্ট সার্কিট ঘটে, যা ডিসচার্জকে কঠিন করে তোলে। একটি স্থানিক চৌম্বক ক্ষেত্র তৈরি করার জন্য, বিভিন্ন গবেষণা করা হয়েছে, উদাহরণস্বরূপ, টার্গেটের ভিতরে চৌম্বক ক্ষেত্রকে সম্পৃক্ত করা, টার্গেটে অনেক ফাঁক রেখে এটিকে আরও লিকেজ চৌম্বকত্ব তৈরি করতে উৎসাহিত করা, টার্গেটের তাপমাত্রা বৃদ্ধি করা, অথবা টার্গেটের চৌম্বক ভেদ্যতা হ্রাস করা।
– এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্ট করার সময়: ০৮-সেপ্টেম্বর-২০২৩