Atụmatụ nke mkpuchi magnetron sputtering isi nke 2

N'isiokwu gara aga, anyị kwuru maka njirimara nke mkpuchi sputtering, isiokwu a ga-agakwa n'ihu na-akọwa njirimara nke mkpuchi sputtering.

(4) Okpomọkụ substrate dị ala. Ọkwa sputtering nke sputtering dị elu n'ihi na njupụta nke elektrọn dị elu n'ime mpaghara magnetik nke ihe mgbaru ọsọ cathode, ya bụ, n'obere mpaghara dị na ebe a na-agba ọsọ ihe mgbaru ọsọ, na n'èzí mpaghara ihe omume magnetik, karịsịa nso elu substrate dị anya na ubi magnetik, njupụta elektrọn dị obere nke ukwuu n'ihi ọdịiche, ọ pụkwara ọbụna ịdị ala karịa nke sputtering binary (n'ihi na nrụgide gas na-arụ ọrụ nke abụọ dị iche na nha). Ya mere, n'okpuru ọnọdụ sputtering, njupụta elektrọn n'elu substrate a gbanyere agbawa dị nnọọ ala karịa nke na sputtering nke abụọ nkịtị, a na-ezerekwa mmụba gabigara ókè na okpomọkụ substrate n'ihi mbelata na ọnụọgụ elektrọn na substrate ihe merenụ. Tinyere nke ahụ, n'ụzọ sputtering, anode nke ngwaọrụ sputtering nwere ike ịnọ gburugburu cathode ahụ, etiti substrate nwekwara ike ịdị ma nwee ike ịkwụsị, ka elektrọn wee nwee ike ịgafe anode ahụ na-agafeghị na etiti substrate ala, si otú a na-ebelata elektrọn ike dị elu nke na-agbagharị na substrate a plated, na-ebelata mmụba nke okpomọkụ substrate nke ihe mberede electron kpatara, ma na-ebelata nke ukwuu okpomọkụ nke bọmbụ electron nke abụọ nke substrate kpatara.

(5) Ịdọpụ ihe mgbaru ọsọ na-adịghị mma. N'ihe mgbaru ọsọ ịgbasa ihe, a na-eji oghere ndọta na-adịghị mma, ya mere plasma ga-emepụta mmetụta njikọta mpaghara, nke ga-eme ka ọsọ ịgbasa ihe gbasaa nke ọnọdụ mpaghara dị na ihe mgbaru ọsọ buru ibu nke ukwuu, ihe ga-esi na ya pụta ga-abụ nnukwu ịgbasa ihe mgbaru ọsọ na-adịghị mma. Ọnụego ojiji nke ihe mgbaru ọsọ na-abụkarị ihe dị ka 30%. Iji melite ọnụego ojiji nke ihe mgbaru ọsọ, enwere ike ime ọtụtụ usoro mmezi, dị ka imeziwanye ọdịdị na nkesa nke ebe ndọta lekwasịrị anya, ka ndọta wee na-agagharị n'ime kathode ebumnuche

(6) Ọ na-esiri ike ịgbasa ihe ndọta ihe ndọta. Ọ bụrụ na ejiri ihe nwere nnukwu ikike ndọta mee ihe ndọta, ahịrị ubi ndọta ga-agafe ozugbo na ihe ndị ọzọ. Sekit mkpụmkpụ magnet na-eme n'ime ihe mgbaru ọsọ ahụ, na-eme ka mwepụta sie ike. Iji mepụta ubi ndọta oghere, emeela ọtụtụ ọmụmụ ihe, dịka ọmụmaatụ, ime ka ebe ndọta dị n'ime ihe mgbaru ọsọ ahụ ju, na-ahapụ ọtụtụ oghere na ihe mgbaru ọsọ ahụ iji kwalite ya iji mepụta magnetism ntapu karịa iji mee ka okpomọkụ nke ihe mgbaru ọsọ ahụ dịkwuo elu, ma ọ bụ belata ikike ndọta nke ihe mgbaru ọsọ ahụ.

– E bipụtara akụkọ a site n'aka onyeigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchiGuangdong Zhenhua