წინა სტატიაში ვისაუბრეთ გაფრქვევით გაფრქვევით გაფრქვევით გაშლილი საფარის მახასიათებლებზე, ხოლო ეს სტატია გააგრძელებს გაფრქვევით გაფრქვევით გაშლილი საფარის მახასიათებლების ახსნას.
(4) სუბსტრატის ტემპერატურა დაბალია. გაფრქვევის გაფრქვევის სიჩქარე მაღალია, რადგან ელექტრონების კონცენტრაცია მაღალია კათოდური სამიზნის მაგნიტური ველის რეგიონში, ანუ სამიზნის განმუხტვის ბილიკზე მცირე ლოკალურ არეალში და მაგნიტური მოქმედების რეგიონის გარეთ, განსაკუთრებით სუბსტრატის ზედაპირთან ახლოს, მაგნიტური ველისგან შორს, ელექტრონების კონცენტრაცია გაცილებით დაბალია დივერგენციის გამო და შესაძლოა უფრო დაბალიც კი იყოს, ვიდრე ბინარული გაფრქვევისას (რადგან ორივეს ოპერაციული გაზის წნევა სიდიდის რიგით განსხვავდება). ამიტომ, გაფრქვევის პირობებში, დაბომბილი სუბსტრატის ზედაპირზე ელექტრონების კონცენტრაცია გაცილებით დაბალია, ვიდრე ჩვეულებრივი მეორადი გაფრქვევისას და სუბსტრატის ტემპერატურის ზედმეტი მატება თავიდან აცილებულია დაცემული სუბსტრატის ელექტრონების რაოდენობის შემცირების გამო. გარდა ამისა, გაფრქვევის მეთოდის დროს, გაფრქვევის მოწყობილობის ანოდი შეიძლება განთავსდეს კათოდის გარშემო, ხოლო სუბსტრატის ჩარჩო ასევე შეიძლება იყოს შეჩერებულ პოტენციალზე, ისე, რომ ელექტრონებს შეეძლოთ ანოდში გავლა დამიწებული სუბსტრატის ჩარჩოში გავლის გარეშე, რითაც მცირდება მაღალი ენერგიის ელექტრონები, რომლებიც ბომბავენ მოპირკეთებულ სუბსტრატს, მცირდება ელექტრონების დაცემით გამოწვეული სუბსტრატის სითბოს ზრდა და მნიშვნელოვნად მცირდება სუბსტრატის მეორადი ელექტრონული დაბომბვით გამოწვეული სითბო.
(5) სამიზნის არათანაბარი გრავირება. ტრადიციულ გაფრქვევის სამიზნეში გამოიყენება არაერთგვაროვანი მაგნიტური ველი, ამიტომ პლაზმა წარმოქმნის ლოკალურ კონვერგენციის ეფექტს, რაც სამიზნეზე ლოკალური პოზიციის გაფრქვევის გრავირების სიჩქარეს უკიდურესად დიდს გახდის და შედეგად, სამიზნეზე მნიშვნელოვანი არათანაბარი გრავირება მოხდება. სამიზნის მასალების გამოყენების მაჩვენებელი, როგორც წესი, დაახლოებით 30%-ია. სამიზნის მასალის გამოყენების მაჩვენებლის გასაუმჯობესებლად, შესაძლებელია სხვადასხვა გაუმჯობესების ზომების მიღება, როგორიცაა სამიზნის მაგნიტური ველის ფორმისა და განაწილების გაუმჯობესება, ისე, რომ მაგნიტი სამიზნის კათოდში მოძრაობდეს.
(6) მაგნიტური მასალის სამიზნის გაფრქვევა რთულია. თუ გაფრქვევის სამიზნე დამზადებულია მაღალი მაგნიტური გამტარობის მქონე მასალისგან, მაგნიტური ველის ხაზები პირდაპირ გაივლის და ა.შ. სამიზნის შიგნით ხდება მაგნიტური მოკლე ჩართვა, რაც განმუხტვას ართულებს. სივრცითი მაგნიტური ველის გენერირების მიზნით, ჩატარდა სხვადასხვა კვლევა, მაგალითად, სამიზნის შიგნით მაგნიტური ველის გაჯერება, სამიზნეზე მრავალი ნაპრალის დატოვება, რათა ხელი შეუწყოს მის მიერ გაჟონვის მაგნეტიზმის გენერირებას სამიზნის ტემპერატურის გასაზრდელად ან სამიზნის მაგნიტური გამტარობის შესამცირებლად.
– ეს სტატია გამოქვეყნებულიავაკუუმური საფარის მანქანის მწარმოებელიგუანგდონგ ჟენხუა
გამოქვეყნების დრო: 2023 წლის 8 სექტემბერი