У папярэднім артыкуле мы распавядалі пра характарыстыкі распыляльных пакрыццяў, і ў гэтым артыкуле мы працягнем тлумачыць характарыстыкі распыляльных пакрыццяў.
(4) Тэмпература падкладкі нізкая. Хуткасць распылення высокая, таму што канцэнтрацыя электронаў высокая ў вобласці магнітнага поля катоднай мішэні, гэта значыць у невялікай лакальнай зоне на паласе разраду мішэні, а па-за вобласцю магнітнага ўздзеяння, асабліва паблізу паверхні падкладкі, далёка ад магнітнага поля, канцэнтрацыя электронаў значна ніжэйшая з-за разыходжання і можа быць нават ніжэйшай, чым пры бінарным распыленні (таму што працоўны ціск газу ў гэтых двух умовах адрозніваецца на парадак велічыні). Такім чынам, ва ўмовах распылення канцэнтрацыя электронаў на паверхні бамбардзіраванай падкладкі значна ніжэйшая, чым пры звычайным другасным распыленні, і празмернае павышэнне тэмпературы падкладкі пазбягаецца дзякуючы памяншэнню колькасці электронаў у падаючай падкладцы. Акрамя таго, пры метадзе распылення анод распыляльнай прылады можа быць размешчаны вакол катода, а каркас падкладкі таксама можа знаходзіцца пад падвешаным патэнцыялам, так што электроны могуць працякаць праз анод, не праходзячы праз заземлены каркас падкладкі, тым самым памяншаючы высокаэнергетычныя электроны, якія бамбардзіруюць пакрытую падкладку, памяншаючы павелічэнне цяпла падкладкі, выкліканае падзеннем электронаў, і значна памяншаючы цяпло, выкліканае другаснай электроннай бамбардзіроўкай падкладкі.
(5) Нераўнамернае травленне мішэні. У традыцыйнай распыляльнай мішэні выкарыстоўваецца неаднароднае магнітнае поле, таму плазма стварае эфект лакальнай канвергенцыі, што робіць хуткасць распыляльнага травлення лакальнага становішча на мішэні надзвычай высокай, і ў выніку будзе значнае нераўнамернае травленне на мішэні. Каэфіцыент выкарыстання матэрыялаў мішэні звычайна складае каля 30%. Для павышэння каэфіцыента выкарыстання матэрыялу мішэні можна прыняць розныя меры па паляпшэнні, такія як паляпшэнне формы і размеркавання магнітнага поля мішэні, каб магніт рухаўся ўнутры катода мішэні.
(6) Распыленне магнітных матэрыялаў мішэні з'яўляецца складаным. Калі мішэнь для распылення выраблена з матэрыялу з высокай магнітнай пранікальнасцю, лініі магнітнага поля будуць праходзіць непасрэдна адна ад адной і гэтак далей. Унутры мішэні ўзнікае кароткае магнітнае замыканне, што ўскладняе разрад. Для стварэння прасторавага магнітнага поля былі праведзены розныя даследаванні, напрыклад, насычэнне магнітнага поля ўнутры мішэні, пакіданне мноства зазораў на мішэні, каб спрыяць генерацыі большага магнетызму рассеяння, павышэнню тэмпературы мішэні або зніжэнню магнітнай пранікальнасці мішэні.
– Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 8 верасня 2023 г.