V předchozím článku jsme hovořili o vlastnostech naprašovacích povlaků a tento článek bude vlastnosti naprašovacích povlaků dále vysvětlovat.
(4) Teplota substrátu je nízká. Rychlost naprašování je vysoká, protože koncentrace elektronů je vysoká v oblasti magnetického pole katodového terče, tj. v malé lokální oblasti na výbojové dráze terče. Mimo oblast magnetického působení, zejména v blízkosti povrchu substrátu daleko od magnetického pole, je koncentrace elektronů v důsledku divergence mnohem nižší a může být dokonce nižší než u binárního naprašování (protože provozní tlak plynu se u obou procesů liší řádově). Proto je za podmínek naprašování koncentrace elektronů na povrchu bombardovaného substrátu mnohem nižší než u běžného sekundárního naprašování a nadměrnému zvýšení teploty substrátu se zabrání díky snížení počtu elektronů v dopadajícím substrátu. Kromě toho může být při metodě naprašování anoda naprašovacího zařízení umístěna kolem katody a rám substrátu může být také na suspendovaném potenciálu, takže elektrony mohou proudit skrz anodu, aniž by procházely uzemněným rámem substrátu, čímž se snižuje počet elektronů s vysokou energií, které bombardují pokovený substrát, snižuje se nárůst tepla substrátu způsobený dopadem elektronů a výrazně se snižuje teplo způsobené sekundárním bombardováním substrátu elektrony.
(5) Nerovnoměrné leptání terče. V tradičním naprašovacím terči se používá nehomogenní magnetické pole, takže plazma vytváří lokální konvergenční efekt, což vede k extrémně vysoké rychlosti leptání naprašováním v dané poloze terče a výsledkem je výrazné nerovnoměrné leptání terče. Míra využití materiálů terče je obecně kolem 30 %. Pro zlepšení míry využití materiálu terče lze přijmout různá opatření, jako je zlepšení tvaru a rozložení magnetického pole terče tak, aby se magnet pohyboval uvnitř katody terče.
(6) Naprašování magnetického terče je obtížné. Pokud je naprašovací terč vyroben z materiálu s vysokou magnetickou permeabilitou, siločáry magnetického pole procházejí přímo a tak dále. Uvnitř terče dochází ke zkratu magnetického pole, což ztěžuje výboj. Za účelem generování prostorového magnetického pole byly provedeny různé studie, například saturace magnetického pole uvnitř terče, ponechání mnoha mezer v terči, aby se podpořilo generování většího rozptylového magnetismu, a tím zvýšení teploty terče nebo snížení magnetické permeability terče.
– Tento článek vydávávýrobce vakuových lakovacích strojůGuangdong Zhenhua
Čas zveřejnění: 8. září 2023