Az előző cikkben a porlasztásos bevonatok jellemzőiről beszéltünk, és ez a cikk továbbra is a porlasztásos bevonatok jellemzőinek magyarázatát fogja tartalmazni.
(4) Az aljzat hőmérséklete alacsony. A porlasztás porlasztási sebessége magas, mivel az elektronok koncentrációja a katódcélpont mágneses mező tartományában, azaz a célpont kisülési pályájának egy kis lokális területén magas, és a mágneses hatástartományon kívül, különösen az aljzat felületének közelében, távol a mágneses mezőtől, az elektronkoncentráció a divergencia miatt sokkal alacsonyabb, sőt akár alacsonyabb is lehet, mint a bináris porlasztásnál (mivel a kettő üzemi gáznyomása nagyságrendekkel eltérő). Ezért porlasztási körülmények között az elektronkoncentráció a bombázott aljzat felületén sokkal alacsonyabb, mint a hagyományos másodlagos porlasztásnál, és az aljzat hőmérsékletének túlzott növekedése elkerülhető a beeső aljzatban lévő elektronok számának csökkenése miatt. Ezenkívül a porlasztási eljárásban a porlasztóberendezés anódja a katód körül helyezkedhet el, és az aljzat kerete is lehet szuszpendált potenciálon, így az elektronok az anódon keresztül áramolhatnak anélkül, hogy áthaladnának a földelt aljzat keretén, ezáltal csökkentve a bevont aljzatot bombázó nagy energiájú elektronokat, csökkentve az elektronok beesése által okozott aljzathő növekedését, és jelentősen csökkentve az aljzat másodlagos elektronbombázása által okozott hőt.
(5) A céltárgy egyenetlen marása. A hagyományos porlasztásos céltárgynál inhomogén mágneses mezőt használnak, így a plazma lokális konvergenciahatást hoz létre, ami rendkívül megnöveli a céltárgy lokális pozíciójának porlasztási marási sebességét, és ennek eredményeként jelentős, egyenetlen maratás lesz a céltárgyon. A céltárgyak kihasználtsági aránya általában körülbelül 30%. A céltárgy anyagának kihasználtsági arányának javítása érdekében különféle javító intézkedéseket lehet tenni, például a céltárgy mágneses mezőjének alakjának és eloszlásának javítását, hogy a mágnes a céltárgy katódjában mozogjon.
(6) A mágneses anyagú céltárgy porlasztása nehézkes. Ha a céltárgy nagy mágneses permeabilitással rendelkező anyagból készült, a mágneses erővonalak közvetlenül áthaladnak rajta. A céltárgy belsejében mágneses rövidzárlat keletkezik, ami megnehezíti a kisülést. Térbeli mágneses tér létrehozása érdekében számos tanulmányt végeztek, például a céltárgy belsejében lévő mágneses mező telítését, sok rést hagyva a céltárgyon, hogy elősegítsék a szivárgó mágnesesség kialakulását, ezáltal növelve a céltárgy hőmérsékletét, vagy csökkentve a céltárgy mágneses permeabilitását.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2023. szeptember 8.