GX600

装置は縦型フロントドア構造とクラスタレイアウトを採用しています。金属や各種有機材料の蒸着源を搭載しており、様々な仕様のシリコンウェーハを蒸着することができます。精密アライメントシステムを装備しており、コーティングは安定しており、コーティングの再現性も良好です。
GX600 コーティング装置は、有機発光材料や金属材料を基板上に正確、均一、制御しながら蒸着できます。製膜が容易で純度が高く、緻密性が高いという利点があります。全自動膜厚リアルタイム監視システムにより、プロセスの再現性と安定性を確保できます。自己溶解機能を搭載しており、作業者のスキル依存度を軽減します。
この装置はCu、Al、Co、Cr、Au、Ag、Ni、Tiなどの金属材料に適用でき、金属膜、誘電体層膜、IMD膜などをコーティングすることができます。主に半導体で使用されます。パワーデバイス、半導体背面パッケージ基板コーティングなどの産業用