GX600

本装置は垂直前面扉構造とクラスターレイアウトを採用しています。金属および各種有機材料用の蒸着源を装備でき、様々な仕様のシリコンウェハーを蒸着できます。高精度アライメントシステムを搭載しているため、安定した成膜が可能で、再現性にも優れています。
GX600コーティング装置は、有機発光材料または金属材料を基板上に正確かつ均一に、そして制御可能に蒸着することができます。簡便な成膜、高純度、高緻密性といった利点を有しています。全自動膜厚リアルタイムモニタリングシステムにより、プロセスの再現性と安定性を確保します。また、自己溶融機能を搭載しているため、オペレーターの熟練度への依存度を低減します。
この装置は、Cu、Al、Co、Cr、Au、Ag、Ni、Tiなどの金属材料に適用でき、金属膜、誘電体層膜、IMD膜などをコーティングできます。主に半導体産業で使用され、パワーデバイス、半導体背面パッケージ基板コーティングなどに用いられます。