এই যন্ত্রটিতে উল্লম্ব সম্মুখ দরজা কাঠামো এবং ক্লাস্টার লেআউট ব্যবহার করা হয়েছে। এতে ধাতু এবং বিভিন্ন জৈব পদার্থের জন্য বাষ্পীভবন উৎস যুক্ত করা যায় এবং এটি বিভিন্ন স্পেসিফিকেশনের সিলিকন ওয়েফার বাষ্পীভূত করতে পারে। নির্ভুল অ্যালাইনমেন্ট সিস্টেম থাকায় এর কোটিং স্থিতিশীল এবং এর পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা ভালো।
GX600 কোটিং সরঞ্জাম সাবস্ট্রেটের উপর জৈব আলো-নিঃসরণকারী উপাদান বা ধাতব পদার্থ নির্ভুলভাবে, সমানভাবে এবং নিয়ন্ত্রণযোগ্যভাবে বাষ্পীভূত করতে পারে। এর সুবিধাগুলোর মধ্যে রয়েছে সহজ ফিল্ম গঠন, উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং উচ্চ কম্প্যাক্টনেস। সম্পূর্ণ-স্বয়ংক্রিয় ফিল্মের পুরুত্ব রিয়েল-টাইম পর্যবেক্ষণ ব্যবস্থা প্রক্রিয়াটির পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা এবং স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করতে পারে। অপারেটরের দক্ষতার উপর নির্ভরতা কমাতে এটিতে স্ব-গলন ফাংশন যুক্ত করা হয়েছে।
এই সরঞ্জামটি Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti এবং অন্যান্য ধাতব পদার্থে প্রয়োগ করা যায় এবং এগুলোর উপর মেটাল ফিল্ম, ডাইইলেকট্রিক লেয়ার ফিল্ম, IMD ফিল্ম ইত্যাদি প্রলেপ দেওয়া যায়। এটি প্রধানত সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে ব্যবহৃত হয়, যেমন পাওয়ার ডিভাইস, সেমিকন্ডাক্টর রিয়ার প্যাকেজিং সাবস্ট্রেট কোটিং ইত্যাদিতে।
| জিএক্স৬০০ | জিএক্স৯০০ |
| φ৬০০*৮০০(মিমি) | φ৯০০*H১০৫০(মিমি) |