GX600

Опремата ја прифаќа вертикалната структура на влезната врата и распоредот на кластерот.Може да биде опремен со извори на испарување на метали и разни органски материјали и може да испарува силиконски наполитанки со различни спецификации.Опремен со прецизен систем за усогласување, облогата е стабилна и облогата има добра повторливост.
Опремата за обложување GX600 може прецизно, рамномерно и контролирано да испарува органски материјали што емитуваат светлина или метални материјали на подлогата.Ги има предностите на едноставно формирање на филм, висока чистота и висока компактност.Целосно автоматскиот систем за следење на дебелината на филмот во реално време може да обезбеди повторливост и стабилност на процесот.Опремен е со функција за самотопење за да ја намали зависноста од вештините на операторот.
Опремата може да се нанесе на Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti и други метални материјали и може да се обложи со метален филм, филм со диелектричен слој, филм IMD итн. главно се користи во полупроводниците индустрија, како што се уреди за напојување, полупроводничка обвивка на подлогата на задното пакување итн.