GX600

Опремата има вертикална структура на влезната врата и распоред на кластерот. Може да биде опремена со извори на испарување за метали и разни органски материјали и може да испарува силиконски плочки со различни спецификации. Опремена со систем за прецизно порамнување, облогата е стабилна, а облогата има добра повторувачка способност.
Опремата за обложување GX600 може прецизно, рамномерно и контролирано да испарува органски материјали што емитуваат светлина или метални материјали врз подлогата. Има предности како што се едноставно формирање на филм, висока чистота и висока компактност. Целосно автоматскиот систем за следење на дебелината на филмот во реално време може да обезбеди повторување и стабилност на процесот. Опремена е со функција за самотопење за да се намали зависноста од вештините на операторот.
Опремата може да се примени на Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti и други метални материјали, и може да се обложи со метална фолија, диелектрична фолија, IMD фолија итн., главно се користи во полупроводничката индустрија, како што се енергетски уреди, премачкување на супстрат за задно пакување на полупроводници итн.