Cov khoom siv siv cov qauv qhov rooj pem hauv ntej ntsug thiab cov qauv pawg. Nws tuaj yeem nruab nrog cov khoom siv evaporation rau cov hlau thiab ntau yam khoom siv organic, thiab tuaj yeem evaporate silicon wafers ntawm ntau yam kev qhia tshwj xeeb. Nruab nrog lub kaw lus sib dhos meej, lub txheej txheej ruaj khov thiab lub txheej txheej muaj qhov rov ua dua zoo.
Cov khoom siv txheej GX600 tuaj yeem ua kom raug, sib npaug thiab tswj tau cov pa roj av organic lossis cov khoom siv hlau rau ntawm lub substrate. Nws muaj qhov zoo ntawm kev tsim zaj duab xis yooj yim, kev ntshiab siab thiab kev sib sau ua ke siab. Lub kaw lus saib xyuas lub sijhawm tiag tiag ntawm zaj duab xis tuab tag nrho tuaj yeem ua kom ntseeg tau tias qhov rov ua dua thiab ruaj khov ntawm cov txheej txheem. Nws muaj lub luag haujlwm yaj tus kheej kom txo qhov kev vam khom rau cov txuj ci ntawm tus neeg teb xov tooj.
Cov khoom siv tuaj yeem siv rau Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti thiab lwm yam khoom siv hlau, thiab tuaj yeem coated nrog hlau zaj duab xis, dielectric txheej zaj duab xis, IMD zaj duab xis, thiab lwm yam. nws yog siv rau hauv kev lag luam semiconductor, xws li cov khoom siv fais fab, semiconductor rear ntim substrate txheej, thiab lwm yam.
| GX600 | GX900 |
| φ600 * 800 (hli) | φ900 * H1050 (hli) |