GX600

Peralatan ini menggunakan struktur pintu depan menegak dan susun atur kluster. Ia boleh dilengkapi dengan sumber penyejatan untuk logam dan pelbagai bahan organik, dan boleh menyejatkan wafer silikon dengan pelbagai spesifikasi. Dilengkapi dengan sistem penjajaran ketepatan, salutannya stabil dan salutan mempunyai kebolehulangan yang baik.
Peralatan salutan GX600 boleh menyejat bahan pemancar cahaya organik atau bahan logam ke atas substrat dengan tepat, sekata dan terkawal. Ia mempunyai kelebihan pembentukan filem yang mudah, ketulenan yang tinggi dan kekompakan yang tinggi. Sistem pemantauan ketebalan filem automatik penuh masa nyata boleh memastikan kebolehulangan dan kestabilan proses. Ia dilengkapi dengan fungsi pencairan sendiri untuk mengurangkan pergantungan pada kemahiran pengendali.
Peralatan ini boleh digunakan untuk Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti dan bahan logam lain, dan boleh disalut dengan filem logam, filem lapisan dielektrik, filem IMD, dan sebagainya. Ia digunakan terutamanya dalam industri semikonduktor, seperti peranti kuasa, salutan substrat pembungkusan belakang semikonduktor, dan sebagainya.