GX600

Peralatan ini menggunakan struktur pintu depan menegak dan susun atur kelompok.Ia boleh dilengkapi dengan sumber penyejatan untuk logam dan pelbagai bahan organik, dan boleh menyejat wafer silikon pelbagai spesifikasi.Dilengkapi dengan sistem penjajaran ketepatan, salutan adalah stabil dan salutan mempunyai kebolehulangan yang baik.
Peralatan salutan GX600 boleh dengan tepat, sekata dan terkawal menyejat bahan pemancar cahaya organik atau bahan logam ke substrat.Ia mempunyai kelebihan pembentukan filem mudah, ketulenan tinggi dan kekompakan yang tinggi.Sistem pemantauan masa nyata ketebalan filem automatik penuh boleh memastikan kebolehulangan dan kestabilan proses.Ia dilengkapi dengan fungsi peleburan sendiri untuk mengurangkan pergantungan kepada kemahiran pengendali.
Peralatan boleh digunakan untuk Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti dan bahan logam lain, dan boleh disalut dengan filem logam, filem lapisan dielektrik, filem IMD, dan lain-lain ia digunakan terutamanya dalam semikonduktor. industri, seperti peranti kuasa, salutan substrat pembungkusan belakang semikonduktor, dsb.