නිෂ්පාදනය විස්තරය
උපකරණ සිරස් ඉදිරිපස දොර ව්යුහය සහ පොකුරු පිරිසැලසුම අනුගමනය කරයි.එය ලෝහ සහ විවිධ කාබනික ද්‍රව්‍ය සඳහා වාෂ්පීකරණ ප්‍රභවයන්ගෙන් සමන්විත විය හැකි අතර විවිධ පිරිවිතරයන්ගේ සිලිකන් වේෆර් වාෂ්පීකරණය කළ හැකිය.නිරවද්‍ය පෙළගැස්වීමේ පද්ධතියකින් සමන්විත වන අතර, ආලේපනය ස්ථායී වන අතර ආලේපනය හොඳ පුනරාවර්තන හැකියාවක් ඇත.
GX600 ආෙල්පන උපකරණ මගින් උපස්ථරය මත කාබනික ආලෝක විමෝචක ද්‍රව්‍ය හෝ ලෝහ ද්‍රව්‍ය නිවැරදිව, ඒකාකාරව සහ පාලනය කළ හැකි ලෙස වාෂ්ප කළ හැක.එය සරල චිත්රපට සෑදීම, ඉහළ සංශුද්ධතාවය සහ ඉහළ සංයුක්තතාවයේ වාසි ඇත.සම්පූර්ණ ස්වයංක්රීය චිත්රපට ඝණකම තත්‍ය කාලීන අධීක්ෂණ පද්ධතිය මඟින් ක්‍රියාවලියේ පුනරාවර්තනය සහ ස්ථායීතාවය සහතික කළ හැක.ක්‍රියාකරුගේ කුසලතා මත යැපීම අඩු කිරීම සඳහා එය ස්වයං දියවීමේ ක්‍රියාකාරිත්වයකින් සමන්විත වේ.
උපකරණ Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti සහ අනෙකුත් ලෝහ ද්‍රව්‍ය සඳහා යෙදිය හැකි අතර ලෝහ පටල, පාර විද්‍යුත් ස්ථර පටල, IMD පටල ආදියෙන් ආලේප කළ හැක. එය ප්‍රධාන වශයෙන් අර්ධ සන්නායකවල භාවිතා වේ. බලශක්ති උපාංග, අර්ධ සන්නායක පසුපස ඇසුරුම් උපස්ථර ආලේපනය වැනි කර්මාන්තය.
විකල්ප ආකෘති
| GX600 | GX900 |
| φ600*800(මි.මී.) | φ900*H1050(මි.මී.) |
සාපේක්ෂ උපාංග
View ක්ලික් කරන්න
GX2700 ඉලෙක්ට්‍රෝන කදම්භ වාෂ්පීකරණ ආෙල්පන උපකරණ
උපකරණ ඉලෙක්ට්‍රෝන කදම්භ වාෂ්පීකරණ තාක්ෂණය භාවිතා කරයි.කැතෝඩ සූත්‍රිකාවෙන් ඉලෙක්ට්‍රෝන විමෝචනය වන අතර එය ත්වරණය වන යම් කදම්භ ධාරාවකට නාභිගත වේ...