GX600

Urządzenie wykorzystuje pionową konstrukcję z przednimi drzwiami i układem klastra. Może być wyposażone w źródła odparowywania metali i różnych materiałów organicznych, a także umożliwia odparowywanie płytek krzemowych o różnych parametrach. Dzięki precyzyjnemu systemowi wyrównywania powłoka jest stabilna i charakteryzuje się dobrą powtarzalnością.
Urządzenie do powlekania GX600 umożliwia precyzyjne, równomierne i kontrolowane naparowywanie organicznych materiałów emitujących światło lub materiałów metalowych na podłoże. Jego zalety to proste formowanie powłoki, wysoka czystość i zwartość. W pełni automatyczny system monitorowania grubości powłoki w czasie rzeczywistym zapewnia powtarzalność i stabilność procesu. Urządzenie jest wyposażone w funkcję samotopienia, co zmniejsza zależność od umiejętności operatora.
Sprzęt może być stosowany do Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti i innych materiałów metalowych, a także może być powlekany folią metalową, warstwą dielektryczną, folią IMD itp. Jest on głównie wykorzystywany w przemyśle półprzewodnikowym, na przykład do urządzeń mocy, powlekania podłoży tylnych obudów półprzewodników itp.