GX600

Sprzęt przyjmuje pionową strukturę przednich drzwi i układ klastra.Może być wyposażony w źródła parowania metali i różnych materiałów organicznych oraz może odparowywać płytki krzemowe o różnych specyfikacjach.Wyposażony w precyzyjny system wyrównania, powłoka jest stabilna, a powłoka ma dobrą powtarzalność.
Sprzęt do powlekania GX600 może dokładnie, równomiernie i w sposób kontrolowany odparowywać organiczne materiały emitujące światło lub materiały metalowe na podłoże.Ma zalety prostego tworzenia filmu, wysokiej czystości i wysokiej zwartości.W pełni automatyczny system monitorowania grubości folii w czasie rzeczywistym może zapewnić powtarzalność i stabilność procesu.Wyposażony jest w funkcję samoroztapiania, aby zmniejszyć zależność od umiejętności operatora.
Sprzęt może być nakładany na Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti i inne materiały metalowe i może być powlekany folią metalową, warstwą dielektryczną, folią IMD itp. jest stosowany głównie w półprzewodnikach przemysł, taki jak urządzenia zasilające, półprzewodnikowe tylne podłoże do pakowania itp.