ఈ పరికరంలో నిలువు ముందు ద్వార నిర్మాణం మరియు క్లస్టర్ లేఅవుట్ ఉంటాయి. దీనికి లోహాలు మరియు వివిధ సేంద్రీయ పదార్థాల కోసం బాష్పీభవన వనరులను అమర్చవచ్చు, మరియు ఇది వివిధ స్పెసిఫికేషన్ల సిలికాన్ వేఫర్లను బాష్పీభవనం చేయగలదు. ఖచ్చితమైన అలైన్మెంట్ సిస్టమ్తో అమర్చబడి ఉండటం వల్ల, కోటింగ్ స్థిరంగా ఉంటుంది మరియు కోటింగ్కు మంచి పునరావృతత్వం ఉంటుంది.
GX600 కోటింగ్ పరికరం ఆర్గానిక్ లైట్-ఎమిటింగ్ మెటీరియల్స్ లేదా మెటల్ మెటీరియల్స్ను సబ్స్ట్రేట్పై ఖచ్చితంగా, సమానంగా మరియు నియంత్రించగలిగేలా ఆవిరి చేయగలదు. ఇది సులభమైన ఫిల్మ్ నిర్మాణం, అధిక స్వచ్ఛత మరియు అధిక సాంద్రత వంటి ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది. పూర్తి-ఆటోమేటిక్ ఫిల్మ్ మందం రియల్-టైమ్ పర్యవేక్షణ వ్యవస్థ, ప్రక్రియ యొక్క పునరావృతతను మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించగలదు. ఆపరేటర్ నైపుణ్యాలపై ఆధారపడటాన్ని తగ్గించడానికి ఇది స్వీయ-ద్రవీభవన ఫంక్షన్తో అమర్చబడింది.
ఈ పరికరాన్ని Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti మరియు ఇతర లోహ పదార్థాలకు అనువర్తించవచ్చు మరియు దీనికి మెటల్ ఫిల్మ్, డైఎలెక్ట్రిక్ లేయర్ ఫిల్మ్, IMD ఫిల్మ్ మొదలైన వాటితో పూత పూయవచ్చు. దీనిని ప్రధానంగా సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో, పవర్ డివైజ్లు, సెమీకండక్టర్ రియర్ ప్యాకేజింగ్ సబ్స్ట్రేట్ కోటింగ్ మొదలైన వాటిలో ఉపయోగిస్తారు.
| జిఎక్స్600 | జిఎక్స్900 |
| φ600*800(mm) | φ900*H1050(mm) |