GX600

Iekārta izmanto vertikālu priekšējo durvju struktūru un klasteru izkārtojumu.To var aprīkot ar metālu un dažādu organisko materiālu iztvaikošanas avotiem, kā arī var iztvaikot dažādu specifikāciju silīcija vafeles.Aprīkots ar precīzas izlīdzināšanas sistēmu, pārklājums ir stabils un pārklājumam ir laba atkārtojamība.
GX600 pārklājuma iekārtas var precīzi, vienmērīgi un kontrolējami iztvaikot organiskos gaismu izstarojošos materiālus vai metāla materiālus uz pamatnes.Tam ir vienkāršas plēves veidošanas priekšrocības, augsta tīrība un augsts kompaktums.Pilnībā automātiskā plēves biezuma reāllaika uzraudzības sistēma var nodrošināt procesa atkārtojamību un stabilitāti.Tas ir aprīkots ar pašizkausēšanas funkciju, lai samazinātu atkarību no operatora prasmēm.
Iekārtu var izmantot uz Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti un citiem metāla materiāliem, un to var pārklāt ar metāla plēvi, dielektriskā slāņa plēvi, IMD plēvi utt. To galvenokārt izmanto pusvadītājos. nozare, piemēram, barošanas ierīces, pusvadītāju aizmugures iepakojuma substrāta pārklājums utt.