GX600

Avadanlıq şaquli ön qapı quruluşunu və klaster düzülüşünü qəbul edir. Metallar və müxtəlif üzvi materiallar üçün buxarlanma mənbələri ilə təchiz oluna bilər və müxtəlif spesifikasiyalı silikon lövhələri buxarlandıra bilər. Dəqiq uyğunlaşdırma sistemi ilə təchiz olunmuş örtük sabitdir və örtük yaxşı təkrarlanma qabiliyyətinə malikdir.
GX600 örtük avadanlığı üzvi işıq saçan materialları və ya metal materialları substrata dəqiq, bərabər və nəzarətli şəkildə buxarlandıra bilər. Sadə təbəqə əmələ gəlməsi, yüksək təmizlik və yüksək kompaktlıq üstünlüklərinə malikdir. Tam avtomatik təbəqə qalınlığı real vaxt monitorinq sistemi prosesin təkrarlanmasını və sabitliyini təmin edə bilər. Operatorun bacarıqlarından asılılığı azaltmaq üçün öz-özünə ərimə funksiyası ilə təchiz olunmuşdur.
Avadanlıq Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti və digər metal materiallara tətbiq oluna bilər və metal film, dielektrik təbəqə filmi, IMD filmi və s. ilə örtülə bilər. Əsasən yarımkeçirici sənayesində, məsələn, güc cihazları, yarımkeçirici arxa qablaşdırma substratı örtüyü və s. istifadə olunur.