GX600

L'équipement adopte une structure de porte d'entrée verticale et une disposition en grappe.Il peut être équipé de sources d'évaporation pour les métaux et divers matériaux organiques, et peut évaporer des tranches de silicium de diverses spécifications.Équipé d'un système d'alignement de précision, le revêtement est stable et le revêtement a une bonne répétabilité.
L'équipement de revêtement GX600 peut évaporer de manière précise, uniforme et contrôlée des matériaux organiques émettant de la lumière ou des matériaux métalliques sur le substrat.Il présente les avantages d'une formation de film simple, d'une grande pureté et d'une grande compacité.Le système de surveillance en temps réel de l'épaisseur du film entièrement automatique peut assurer la répétabilité et la stabilité du processus.Il est équipé d'une fonction d'auto-fusion pour réduire la dépendance aux compétences de l'opérateur.
L'équipement peut être appliqué sur Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti et d'autres matériaux métalliques, et peut être recouvert d'un film métallique, d'un film de couche diélectrique, d'un film IMD, etc. il est principalement utilisé dans le semi-conducteur l'industrie, tels que les dispositifs de puissance, le revêtement de substrat d'emballage arrière de semi-conducteur, etc.